eng
Выпуск #8/2007
I.Kokoreva.
Нанотехнологии на Всероссийской промышленной ярмарке 2007
Нанотехнологии на Всероссийской промышленной ярмарке 2007
Просмотры: 1997
С 23 по 26 октября 2007 года в Москве, на территории Всероссийского Выставочного Центра, прошла VI Всероссийская промышленная ярмарка, которая стала одним из крупнейших выставочно-ярмарочных мероприятий России в этом году. Наряду с традиционными выставками, которые пользуются популярностью среди участников и гостей ярмарки ("Интердрайв", "Эталон", "Энерготех", "Интертехсалон"), организаторы представили новые, отвечающие современным требованиям разделы: по атомной энергетике, нанотехнологии и наноматериалам.
Развитию высоких технологий, в частности нанотехнологий, сейчас уделяется особое внимание. В рамках выполнения поручения Президента РФ В.В.Путина Правительством Российской Федерации принято Постановление по вопросам координации работ в области нанотехнологии и наноиндустрии. Согласно Постановлению, главная задача сегодня – рационально использовать финансовые средства, выделенные на развитие данных направлений. Так, финансирование в сфере нанотехнологий увеличилось в текущем году на 30 млрд. рублей. Поэтому можно надеяться, что такая финансовая поддержка позволит внедрить нанотехнологии во многие области деятельности, особенно в такие отрасли, как космос, военно-промышленный комплекс, медицина, сельское хозяйство и др.
Необходимо определить приоритетные направления, где уже имеются обнадеживающие результаты, проанализировать потребности российских отраслей в конкретных нанотехнологиях, поддержать инновационные разработки и создать региональные, вузовские центры.
Организатором "НаноТехЭкспо" – нового раздела на ярмарке – выступил Наноцентр МЭИ. Руководитель А.Г. Алексенко – доктор технических наук, профессор, директор ООО "Ангстрем – Центр нанотехнологии".
Наноцентр организован в 2004 году при Центре Высоких Технологий кафедры низких температур. На базе Наноцентра ведется подготовка специалистов по новому направлению "Нанотехнология" по специальности "Наноматериалы". Одновременно Наноцентр МЭИ ведет организаторскую работу и является системным координатором НИР и ОКР 15 вузовских и промышленных объединений. Собственные и координируемые работы Наноцентра связаны с разработкой: микромощных источников питания для кремниевых наносборок; наносистем обработки и беспроводной передачи информации; устройств контроля за местоположением и параметрами подвижных объектов; систем техногенного мониторинга и продвижением в гражданское и дорожное строительство нанобетона.
Перечислим основные проекты Наноцентра.
Нанобетон – создание нанотехнологических средств управления качеством конструкционных материалов и бетонов для строительной индустрии. Надо сказать, что применение в технологии бетонов модификаторов на основе фуллероидов, в том числе на основе астраленов – многослойных полиэдральных наночастиц фуллероидного типа, является новым в мировой практике (патенты РФ №№ 2196731, 2233254, 2211206, ООО "НТЦ "Прикладные нанотехнологии").
Наноэнергетика. Проект предусматривает создание групповой и совместимой с производством сверхбольших интегральных схем (СБИС) технологии реализации миниатюрных топливных элементов, допускающих интеграцию со СБИС в пределах чипов (в том числе нано- и микроэлектромеханических систем – NEMS, MEMS).
В этой технологии будут использоваться традиционные методы микроэлектроники, что позволит избежать значительных затрат на переоснащение производств и переделку базовых технологических процессов.
Наноцентр МЭИ курирует следующие работы по системной нанотехнологии.
* Создание средств нанотехнологического мониторинга территорий, обнаружения и защиты от террористической деятельности, бандитизма и распространения наркотиков, включающих в себя "электронный нанонос", "тревожную кнопку", систему "РФИД-Каскад" с разработкой "интеллектуальных" наношпал, дистанционных "меток безопасности" и устройств контроля за местоположением и параметрами любых подвижных объектов и т.д.
* Создание микромощных источников питания для кремниевых наносборок, а также наносистем обработки и беспроводной передачи информации, в том числе для "Умной пыли".
* Наномониторинг зданий, промышленных сооружений и объектов ЖКХ для прогнозирования и предотвращения техногенных катастроф или для определения "критических мест" таких опасностей, возникающих в стратегических объектах (туннелях, мостах, зданиях, сооружениях и т.д.).
* Применение технологии ремонта сооружений без остановки производственных процессов на предприятиях и без выселения людей из жилых помещений.
* Использование наночастиц для бактерицидной защиты больниц, школ, предприятий общественного питания, коммунальных объектов, метрополитенов, вокзалов, "кислотной" защиты памятников архитектуры.
* Повышение КПД тепловых электростанций за счет введения в топливо (мазут, уголь) дешевых нанокатализаторов.
* Предпосевная обработка семян наночастицами для увеличения урожайности сельскохозяйственных культур и их устойчивости к неблагоприятным климатическим воздействиям.
* Использование наночастиц для повышения продуктивности животноводства, птицеводства, звероводства, рыбного хозяйства.
* Применение нанобиодатчиков для генетического, медицинского и токсикологического контроля медикаментов и продуктов питания.
Интересные материалы были представлены на стендах ряда научных институтов и организаций.
Институт физики прочности и материаловедения СО РАН
Институт проводит фундаментальные научные исследования по направлениям: физическая мезомеханика структурно-неоднородных средств; компьютерное конструирование новых материалов и технологий их получения; материалы новых поколений на металлической, керамической и полимерной основах (в том числе наноразмерные и наноструктурные); научные основы технологий упрочнения и поверхностной обработки материалов.
В институте разработан метод ультразвуковой модификации поверхности материала с помощью формирования нано- и субмикрокристаллических структур в поверхностном слое. Новая технология предназначена для безабразивной финишной упрочняюще-чистовой обработки тел вращения. Она позволяет повысить чистоту обработки поверхности (на 2–3 класса) и микротвердость (в 2–3 раза), создать сжимающие напряжения, повышающие износостойкость, коррозионную стойкость и усталостную прочность изделий. Области применения: нефтегазодобывающая техника, железнодорожный транспорт, машиностроение, энергетика.
Установка "Квант" предназначена для вакуумного ионно-плазменного осаждения нанокристаллических (размер зерна 1–20 нм) сверхтвердых (30–60 ГПа), износостойких, коррозионно-стойких, антифрикционных покрытий на режущий инструмент, штампы, пресс-формы, на рабочую поверхность деталей машин и ответственных конструкций. С помощью устройства можно увеличить функциональность изделий и придать новые эксплуатационные качества. Установка оснащена двумя высоковакуумными магнетронными испарителями металлов, источником высокоэнергетических газовых ионов, источниками косвенного нагрева.
В Институте физики прочности и материаловедения разработаны также технология и порошковые композиции для изготовления объемных изделий из сверхвысокомолекулярного полиэтилена (СВМПЭ) с микро- и наноструктурными наполнителями.
Структура полимерного композита модифицируется путем формирования однородной надмолекулярной структуры и равномерного распределения дисперсных упрочняющих частиц по всему объему. Введение наноструктурных и ультрадисперсных модификаторов позволяет повысить на десятки процентов модуль упругости, в три и более раз увеличить износостойкость материала при незначительном повышении коэффициента трения. Коэффициент трения полимерного композита – около 0,1, предел текучести – 200 кг/см2.
Нанокомпозит отличается высокой стойкостью к кислотным и щелочным средам, могут быть получены листы толщиной 1–50 мм.
Институт проводит исследования в интересах медицинской промышленности. Разработан наноструктурированный титан, который применяется в качестве биоактивного покрытия для медицинских имплантатов.
Объемная наноструктура формируется в технически чистом титане ВТ1-0; размер зерна – до 100 нм; прочностные свойства соответствуют титановым сплавам медицинского назначения. Технологию применяют для получения объемного наноструктурного композиционного материала с кальцийфосфатным покрытием, который содержит трикальцийфосфат: толщина 20–80 мкм, соотношение Са/Р–0,7, адгезионная прочность – до 40 МПа, материал способен поддерживать костеобразование без воспалительных признаков (более 80%).
Предлагаемая технология производства заготовок титана с объемной наноструктурой не требует специального оборудования. Она позволяет заменить имплантаты из высоколегированных титановых сплавов имплантатами из объемного наноструктурного титана. Такой материал характеризуется технической чистотой и имеет биосовместимые покрытия, которые не содержат вредных для живого организма легирующих элементов, в отличие от титановых сплавов.
Области применения медицинских имплантатов из наноструктурного титана с биопокрытием: ортопедия и травматология (при лечении и протезировании тазобедренных суставов, дефектов вертлужных впадин суставов, при операциях на позвоночнике, устройство для фиксации переломов), стоматология и челюстно-лицевая хирургия.
В настоящее время высокопрочный наноструктурный титан проходит клинические испытания как материал для медицинских имплантатов (Патент РФ №2175685, положительное решение о выдаче патента РФ от 31.05.05).
Научно-производственное объединение "ВЕЛТ"
Объединение разрабатывает и производит биоциды нового поколения для профилактики инфекционных болезней. Одним из первых в стране оно разработало и освоило серийное производство отечественного биоцида на основе нанотехнологий – антисептический бесспиртовой препарат "Велтосфер". Ноу-хау рецептуры "Велтосфер" заключается в использовании для создания наногибридов (наноансамблей) липосом, содержащих биоцид. Липосомы служат контейнером и транспортным средством для доставки биоцида в микробную клетку. Выпускаемые НПО "ВЕЛТ" препараты высокоэффективны для лечения тяжелых инфекций (гепатиты В и С, туберкулез, ВИЧ/СПД и др.) и таких болезней, как птичий грипп, атипичная пневмония, сибирская язва, чума, холера) и т.д.
Московский государственный технический университет (МАМИ), кафедра материаловедения
Кафедрой разработаны научные основы и технологические принципы создания объемных нанокомпозитов конструкционного назначения. Предлагаемая теория реализована в промышленных масштабах на основе системы "углерод-углерод". Разработана одностадийная технология промышленного производства углеродного нанокомпозита со свойствами, не имеющими аналогов в мире. Начаты работы по реализации биоинженерных электрохимических и других уникальных свойств углеродного нанокомпозита в изделиях медицинской техники и приборостроении.
ОДО "Микротестмашины", Белоруссия
ОДО основано в 2000 году специалистами в области микромеханики. В 2002 году появились первые самостоятельные разработки – атомно-силовой микроскоп NT-206 и ванна Ленгмюра-Блоджетт LT-101. Сегодня ОДО "Микротестмашины" предлагает приборы и программное обеспечение для исследования физических и химических свойств поверхностей для микро- и наномеханики и нанотехнологии в целом. Высокий уровень разработок обеспечивается опытным научным и технически персоналом. Предлагаемое оборудование может использоваться в научно-исследовательских и заводских лабораториях, в образовательном процессе в вузах.
Микроскоп NT-206. Совмещает функции кaк традиционного атомно-силового микроскопа, так и прибора для микромеханических испытаний. В его составе: автоматизированная платформа XY-микропозиционирования; встроенная видеосистема верхнего обзора; сменный модуль микротрибометра/адгезиометра; сменный модуль микротрибометра; сменный модуль наноиндентора; сменная платформа для нагрева образца. Области применения: физика твердого тела; микроэлектроника; оптика; тонкопленочные технологии; нанотехнологии; технологии полупроводников; микро- и нанотрибология; анализ гладких поверхностей; полимеры и полимерные композиты; прецизионная механика; биологические объекты (клетки, мембраны).
Функция атомно-силовой микроскопии позволяет измерять поверхность твердых тел в обычных режимах и анализировать их микро- и субмикрорельеф, а также исследовать объекты микро- и нанометрового диапазонов с высоким разрешением.
Возможны следующие режимы работы: контактный АСМ, латерально-силовой микроскоп (картографирование сил трения), бесконтактный динамический АСМ, полуконтактный АСМ (аналог "Tapping Model"), статическая и динамическая силовая спектроскопия, электросиловая микроскопия (в двухпроходном режиме), многослойное сканирование (многопроходная методика, разработанная ИТМО НАН Белоруссии, нанотомография, наноиндентирование (наноцарапание), наноизнос, микротрибометрия (адгезиометрия), микротрибометрия в режиме shear-force.
Характеристики микроскопа NT-206:
* Область сканирования XYZ 10×10×3; 20×20×3; 40×40×4 мкм
* Шаг сканирования no осям XY 0,15 нм, 0,3 нм, 0,6 нм
* Шаг сканирования по оси Z 0,06 нм
* Тип сканера пьезокерамический трубчатый
* Максимальные размеры образца: диаметр 30 мм, высота 8 мм
* Выходное напряжение усилителя ±190 В
Габариты:
* блок сканирования 185×185×290 мм
* блок электроники управления 360×420×220 мм
Масса:
* блок сканирования <4,7 кг
* блок электроники управления <7,7 кг
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума НИЦПВ
Центр представил приборы для измерений в нанометровой области.
Лазерный измеритель наноперемещений. Измеряет линейные перемещения в реальном масштабе времени, в том числе для калибровки систем сканирования и позиционирования, применяемых в микро-и наноэлектронике, точном машиностроении, микромеханике, робототехнике, растровой электронной и зондовой микроскопии.
Основные технические характеристики: диапазон измерений линейных перемещений 1 нм–10 мм; дискретность отсчета 0,1 нм; абсолютная погрешность измерений (в зависимости от диапазона) 0,5–3 нм; максимальное значение измеряемой скорости перемещения объекта – 3 мм/с; габаритные размеры оптической системы 345×300×63 мм; масса 7,5 кг; габаритные размеры электронной системы 345×260×135 мм; масса 3 кг.
Эталонная 3D лазерная интерферометрическая система измерений наноперемещений. Основана на атомно-силовом микроскопе оригинальной конструкции и лазерных интерферометрических измерителях наноперемещений. Предназначена для измерения нанорельефа поверхности и линейных перемещений по трем координатам в микроэлектронике, нанотехнологии и микромеханике; аттестации мер и стандартных образцов, а также для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов.
Основные технические характеристики: измерение наноперемещений по Х-, F-, Z-координатам с дискретностью 0,1 нм; диапазон измерений линейных перемещений: по осям X и Y: 1–3000 нм (точность 0,5 нм), no оси Z: 1–1000 нм (точность 0,5–3 нм).
В дни работы ярмарки прошла научно-практическая конференция "Системная нанотехнология", организатором которой выступил Наноцентр МЭИ.
Необходимо определить приоритетные направления, где уже имеются обнадеживающие результаты, проанализировать потребности российских отраслей в конкретных нанотехнологиях, поддержать инновационные разработки и создать региональные, вузовские центры.
Организатором "НаноТехЭкспо" – нового раздела на ярмарке – выступил Наноцентр МЭИ. Руководитель А.Г. Алексенко – доктор технических наук, профессор, директор ООО "Ангстрем – Центр нанотехнологии".
Наноцентр организован в 2004 году при Центре Высоких Технологий кафедры низких температур. На базе Наноцентра ведется подготовка специалистов по новому направлению "Нанотехнология" по специальности "Наноматериалы". Одновременно Наноцентр МЭИ ведет организаторскую работу и является системным координатором НИР и ОКР 15 вузовских и промышленных объединений. Собственные и координируемые работы Наноцентра связаны с разработкой: микромощных источников питания для кремниевых наносборок; наносистем обработки и беспроводной передачи информации; устройств контроля за местоположением и параметрами подвижных объектов; систем техногенного мониторинга и продвижением в гражданское и дорожное строительство нанобетона.
Перечислим основные проекты Наноцентра.
Нанобетон – создание нанотехнологических средств управления качеством конструкционных материалов и бетонов для строительной индустрии. Надо сказать, что применение в технологии бетонов модификаторов на основе фуллероидов, в том числе на основе астраленов – многослойных полиэдральных наночастиц фуллероидного типа, является новым в мировой практике (патенты РФ №№ 2196731, 2233254, 2211206, ООО "НТЦ "Прикладные нанотехнологии").
Наноэнергетика. Проект предусматривает создание групповой и совместимой с производством сверхбольших интегральных схем (СБИС) технологии реализации миниатюрных топливных элементов, допускающих интеграцию со СБИС в пределах чипов (в том числе нано- и микроэлектромеханических систем – NEMS, MEMS).
В этой технологии будут использоваться традиционные методы микроэлектроники, что позволит избежать значительных затрат на переоснащение производств и переделку базовых технологических процессов.
Наноцентр МЭИ курирует следующие работы по системной нанотехнологии.
* Создание средств нанотехнологического мониторинга территорий, обнаружения и защиты от террористической деятельности, бандитизма и распространения наркотиков, включающих в себя "электронный нанонос", "тревожную кнопку", систему "РФИД-Каскад" с разработкой "интеллектуальных" наношпал, дистанционных "меток безопасности" и устройств контроля за местоположением и параметрами любых подвижных объектов и т.д.
* Создание микромощных источников питания для кремниевых наносборок, а также наносистем обработки и беспроводной передачи информации, в том числе для "Умной пыли".
* Наномониторинг зданий, промышленных сооружений и объектов ЖКХ для прогнозирования и предотвращения техногенных катастроф или для определения "критических мест" таких опасностей, возникающих в стратегических объектах (туннелях, мостах, зданиях, сооружениях и т.д.).
* Применение технологии ремонта сооружений без остановки производственных процессов на предприятиях и без выселения людей из жилых помещений.
* Использование наночастиц для бактерицидной защиты больниц, школ, предприятий общественного питания, коммунальных объектов, метрополитенов, вокзалов, "кислотной" защиты памятников архитектуры.
* Повышение КПД тепловых электростанций за счет введения в топливо (мазут, уголь) дешевых нанокатализаторов.
* Предпосевная обработка семян наночастицами для увеличения урожайности сельскохозяйственных культур и их устойчивости к неблагоприятным климатическим воздействиям.
* Использование наночастиц для повышения продуктивности животноводства, птицеводства, звероводства, рыбного хозяйства.
* Применение нанобиодатчиков для генетического, медицинского и токсикологического контроля медикаментов и продуктов питания.
Интересные материалы были представлены на стендах ряда научных институтов и организаций.
Институт физики прочности и материаловедения СО РАН
Институт проводит фундаментальные научные исследования по направлениям: физическая мезомеханика структурно-неоднородных средств; компьютерное конструирование новых материалов и технологий их получения; материалы новых поколений на металлической, керамической и полимерной основах (в том числе наноразмерные и наноструктурные); научные основы технологий упрочнения и поверхностной обработки материалов.
В институте разработан метод ультразвуковой модификации поверхности материала с помощью формирования нано- и субмикрокристаллических структур в поверхностном слое. Новая технология предназначена для безабразивной финишной упрочняюще-чистовой обработки тел вращения. Она позволяет повысить чистоту обработки поверхности (на 2–3 класса) и микротвердость (в 2–3 раза), создать сжимающие напряжения, повышающие износостойкость, коррозионную стойкость и усталостную прочность изделий. Области применения: нефтегазодобывающая техника, железнодорожный транспорт, машиностроение, энергетика.
Установка "Квант" предназначена для вакуумного ионно-плазменного осаждения нанокристаллических (размер зерна 1–20 нм) сверхтвердых (30–60 ГПа), износостойких, коррозионно-стойких, антифрикционных покрытий на режущий инструмент, штампы, пресс-формы, на рабочую поверхность деталей машин и ответственных конструкций. С помощью устройства можно увеличить функциональность изделий и придать новые эксплуатационные качества. Установка оснащена двумя высоковакуумными магнетронными испарителями металлов, источником высокоэнергетических газовых ионов, источниками косвенного нагрева.
В Институте физики прочности и материаловедения разработаны также технология и порошковые композиции для изготовления объемных изделий из сверхвысокомолекулярного полиэтилена (СВМПЭ) с микро- и наноструктурными наполнителями.
Структура полимерного композита модифицируется путем формирования однородной надмолекулярной структуры и равномерного распределения дисперсных упрочняющих частиц по всему объему. Введение наноструктурных и ультрадисперсных модификаторов позволяет повысить на десятки процентов модуль упругости, в три и более раз увеличить износостойкость материала при незначительном повышении коэффициента трения. Коэффициент трения полимерного композита – около 0,1, предел текучести – 200 кг/см2.
Нанокомпозит отличается высокой стойкостью к кислотным и щелочным средам, могут быть получены листы толщиной 1–50 мм.
Институт проводит исследования в интересах медицинской промышленности. Разработан наноструктурированный титан, который применяется в качестве биоактивного покрытия для медицинских имплантатов.
Объемная наноструктура формируется в технически чистом титане ВТ1-0; размер зерна – до 100 нм; прочностные свойства соответствуют титановым сплавам медицинского назначения. Технологию применяют для получения объемного наноструктурного композиционного материала с кальцийфосфатным покрытием, который содержит трикальцийфосфат: толщина 20–80 мкм, соотношение Са/Р–0,7, адгезионная прочность – до 40 МПа, материал способен поддерживать костеобразование без воспалительных признаков (более 80%).
Предлагаемая технология производства заготовок титана с объемной наноструктурой не требует специального оборудования. Она позволяет заменить имплантаты из высоколегированных титановых сплавов имплантатами из объемного наноструктурного титана. Такой материал характеризуется технической чистотой и имеет биосовместимые покрытия, которые не содержат вредных для живого организма легирующих элементов, в отличие от титановых сплавов.
Области применения медицинских имплантатов из наноструктурного титана с биопокрытием: ортопедия и травматология (при лечении и протезировании тазобедренных суставов, дефектов вертлужных впадин суставов, при операциях на позвоночнике, устройство для фиксации переломов), стоматология и челюстно-лицевая хирургия.
В настоящее время высокопрочный наноструктурный титан проходит клинические испытания как материал для медицинских имплантатов (Патент РФ №2175685, положительное решение о выдаче патента РФ от 31.05.05).
Научно-производственное объединение "ВЕЛТ"
Объединение разрабатывает и производит биоциды нового поколения для профилактики инфекционных болезней. Одним из первых в стране оно разработало и освоило серийное производство отечественного биоцида на основе нанотехнологий – антисептический бесспиртовой препарат "Велтосфер". Ноу-хау рецептуры "Велтосфер" заключается в использовании для создания наногибридов (наноансамблей) липосом, содержащих биоцид. Липосомы служат контейнером и транспортным средством для доставки биоцида в микробную клетку. Выпускаемые НПО "ВЕЛТ" препараты высокоэффективны для лечения тяжелых инфекций (гепатиты В и С, туберкулез, ВИЧ/СПД и др.) и таких болезней, как птичий грипп, атипичная пневмония, сибирская язва, чума, холера) и т.д.
Московский государственный технический университет (МАМИ), кафедра материаловедения
Кафедрой разработаны научные основы и технологические принципы создания объемных нанокомпозитов конструкционного назначения. Предлагаемая теория реализована в промышленных масштабах на основе системы "углерод-углерод". Разработана одностадийная технология промышленного производства углеродного нанокомпозита со свойствами, не имеющими аналогов в мире. Начаты работы по реализации биоинженерных электрохимических и других уникальных свойств углеродного нанокомпозита в изделиях медицинской техники и приборостроении.
ОДО "Микротестмашины", Белоруссия
ОДО основано в 2000 году специалистами в области микромеханики. В 2002 году появились первые самостоятельные разработки – атомно-силовой микроскоп NT-206 и ванна Ленгмюра-Блоджетт LT-101. Сегодня ОДО "Микротестмашины" предлагает приборы и программное обеспечение для исследования физических и химических свойств поверхностей для микро- и наномеханики и нанотехнологии в целом. Высокий уровень разработок обеспечивается опытным научным и технически персоналом. Предлагаемое оборудование может использоваться в научно-исследовательских и заводских лабораториях, в образовательном процессе в вузах.
Микроскоп NT-206. Совмещает функции кaк традиционного атомно-силового микроскопа, так и прибора для микромеханических испытаний. В его составе: автоматизированная платформа XY-микропозиционирования; встроенная видеосистема верхнего обзора; сменный модуль микротрибометра/адгезиометра; сменный модуль микротрибометра; сменный модуль наноиндентора; сменная платформа для нагрева образца. Области применения: физика твердого тела; микроэлектроника; оптика; тонкопленочные технологии; нанотехнологии; технологии полупроводников; микро- и нанотрибология; анализ гладких поверхностей; полимеры и полимерные композиты; прецизионная механика; биологические объекты (клетки, мембраны).
Функция атомно-силовой микроскопии позволяет измерять поверхность твердых тел в обычных режимах и анализировать их микро- и субмикрорельеф, а также исследовать объекты микро- и нанометрового диапазонов с высоким разрешением.
Возможны следующие режимы работы: контактный АСМ, латерально-силовой микроскоп (картографирование сил трения), бесконтактный динамический АСМ, полуконтактный АСМ (аналог "Tapping Model"), статическая и динамическая силовая спектроскопия, электросиловая микроскопия (в двухпроходном режиме), многослойное сканирование (многопроходная методика, разработанная ИТМО НАН Белоруссии, нанотомография, наноиндентирование (наноцарапание), наноизнос, микротрибометрия (адгезиометрия), микротрибометрия в режиме shear-force.
Характеристики микроскопа NT-206:
* Область сканирования XYZ 10×10×3; 20×20×3; 40×40×4 мкм
* Шаг сканирования no осям XY 0,15 нм, 0,3 нм, 0,6 нм
* Шаг сканирования по оси Z 0,06 нм
* Тип сканера пьезокерамический трубчатый
* Максимальные размеры образца: диаметр 30 мм, высота 8 мм
* Выходное напряжение усилителя ±190 В
Габариты:
* блок сканирования 185×185×290 мм
* блок электроники управления 360×420×220 мм
Масса:
* блок сканирования <4,7 кг
* блок электроники управления <7,7 кг
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума НИЦПВ
Центр представил приборы для измерений в нанометровой области.
Лазерный измеритель наноперемещений. Измеряет линейные перемещения в реальном масштабе времени, в том числе для калибровки систем сканирования и позиционирования, применяемых в микро-и наноэлектронике, точном машиностроении, микромеханике, робототехнике, растровой электронной и зондовой микроскопии.
Основные технические характеристики: диапазон измерений линейных перемещений 1 нм–10 мм; дискретность отсчета 0,1 нм; абсолютная погрешность измерений (в зависимости от диапазона) 0,5–3 нм; максимальное значение измеряемой скорости перемещения объекта – 3 мм/с; габаритные размеры оптической системы 345×300×63 мм; масса 7,5 кг; габаритные размеры электронной системы 345×260×135 мм; масса 3 кг.
Эталонная 3D лазерная интерферометрическая система измерений наноперемещений. Основана на атомно-силовом микроскопе оригинальной конструкции и лазерных интерферометрических измерителях наноперемещений. Предназначена для измерения нанорельефа поверхности и линейных перемещений по трем координатам в микроэлектронике, нанотехнологии и микромеханике; аттестации мер и стандартных образцов, а также для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов.
Основные технические характеристики: измерение наноперемещений по Х-, F-, Z-координатам с дискретностью 0,1 нм; диапазон измерений линейных перемещений: по осям X и Y: 1–3000 нм (точность 0,5 нм), no оси Z: 1–1000 нм (точность 0,5–3 нм).
В дни работы ярмарки прошла научно-практическая конференция "Системная нанотехнология", организатором которой выступил Наноцентр МЭИ.
Отзывы читателей
