Рассматриваются возможности и проблемы внедрения EUV-литографии (литография в предельной УФ-области спектра) в серийное производство ИС.

УДК 621.37 | ВАК 05.27.06
DOI: 10.22184/1992-4178.2018.176.5.108.116

sitemap

Разработка: студия Green Art