Электроника НТБ #2/2022
А. Бойко, Д. Гаев, С. Тимошенков
КОРПУСИРОВАНИЕ МЭМС: ПРОБЛЕМЫ И РЕШЕНИЯ
DOI: 10.22184/1992-4178.2022.213.2.88.92 Одним из наиболее сложных этапов производства микроэлектромеханических систем (МЭМС) является корпусирование, которое до сих пор остается «бутылочным горлышком» при решении задачи массового выпуска изделий. В настоящей работе внимание сфокусировано на проблеме вакуумной герметизации в технологии корпусирования МЭМС и способах ее решения.
Наноиндустрия #6/2021
А.Быкова, И.Род, К.Битаров, А.Казачков, Я.Минаева, К.Ракетов, В.Трушин, А.Фролова, Д.Подгорный, Д.Шамирян
Методика удаления кремниевых поверхностных микродефектов лазерной абляцией
DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.6.342.349 Одним из ограничивающих факторов непрерывного повышения доли выхода годных микроразмерных изделий на МЭМС-производствах является ненулевой средний уровень плотности загрязнений производственных инфраструктур. Этот фактор влияет на появление поверхностных дефектов в конечных изделиях, которые могут нарушать функциональность сенсора, датчика. В работе предлагается метод постобработки готовых чувствительных элементов по удалению кремниевых дефектов без нарушения целостности изделия для перевода бракованного изделия в класс годных. Апробация предложенного метода на МЭМС-производстве ООО "МАППЕР" показала, что результативность метода удаления дефектов прецизионным лазерным испарением материала достигает 77% для партии обработанных элементов. Показатель результативности может быть увеличен за счет дальнейшей автоматизации процессов.
Электроника НТБ #3/2021
А. Соловьев, С. Курдюков
СОВРЕМЕННЫЕ РЕШЕНИЯ ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ И ПРОЕКТИРОВАНИЯ МЭМС В СРЕДЕ CoventorMP
DOI: 10.22184/1992-4178.2021.204.3.66.71 Специализированная платформа разработки CoventorMP позволяет эффективно проектировать, оптимизировать и интегрировать МЭМС-устройства. В статье рассмотрен основной функционал, возможности системы, а также особенности инструментов MEMS+ и CoventorWare, входящих в состав CoventorMP.
Наноиндустрия #5/2020
М.Д.Андреев, В.А.Ковалев, В.В.Амеличев, С.С.Генералов, А.В.Николаева, С.А.Поломошнов, А.М.Гаськов, В.В.Кривецкий
Синтез ультрадисперсного диоксида олова распылительным пиролизом в пламени для струйной печати чувствительных элементов полупроводниковых газовых сенсоров
DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.276.283 Методом струйной печати из устойчивых суспензий на поверхности МЭМС-структур с микронагревателем сформированы толстопленочные слои на основе нанокристаллического SnO2 с равномерной пористой структурой. Описаны параметры газовой чувствительности полученных материалов.
Наноиндустрия #2/2019
А.Н.Алёшин
Семинар компании Eurointech собирает ведущих производителей и дистрибьюторов высокотехнологического оборудования
Ежегодно компания Евроинтех проводит семинары для сотрудников российских предприятий, желающих получить информацию о современных технологиях, а также представителей компаний – производителей высокотехнологического оборудования. Компания Евроинтех известна в России как поставщик технологического оборудования для производства электроники и микроэлектроники, оборудования СВЧ и ПО для проектирования и создания печатных плат и электронных устройств, включая МЭМС. Евроинтех презентует свои решения, описывает их преимущества по сравнению с конкурирующими производителями, представляет планы и перспективы развития. DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.2.114.121
Наноиндустрия #9/2018
Вертянов Денис Васильевич, Бураков Михаил Михайлович, Кручинин Сергей Михайлович, Сидоренко Виталий Николаевич, Брыкин Арсений Валерьевич
Трехмерная микросборка на основе коммутационных плат из кремния и бескорпусных элементов МЭМС
В статье представлена концепция технологии трехмерной микросборки на основе коммутационных плат из кремния. Описаны преимущества применения данной технологии для производства малогабаритных изделий микросистемной техники на основе бескорпусных элементов МЭМС. Представлены результаты исследований процессов формирования сквозных металлизированных отверстий в коммутационных платах из кремния. Рассмотрены конструкции отечественных акселерометров, разработанных по технологии трехмерной микросборки. УДК 621.3.049.76 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.521.531
Наноиндустрия #9/2018
Баранов Александр Александрович, Жукова Светлана Александровна, Обижаев Денис Юрьевич, Турков Владимир Евгеньевич, Воробьев Алексей Д., Лагун Александр Михайлович, Машевич Павел Романович, Трудновская Евгения Андреевна
Миниатюрный двухосевой микромеханический акселерометр в однокристальном исполнении с диапазоном измеряемых ускорений ±10 м/с2
В настоящем докладе рассмотрены особенности конструкции и технологии изготовления, а также основные характеристики двухосевого микромеханического акселерометра в однокристальном исполнении. Показана возможность герметизации чувствительного элемента на этапе формирования при помощи кремниевой капсулы. УДК 53.087.92 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.512.513
Наноиндустрия #9/2018
Баранов Александр Александрович, Жукова Светлана Александровна, Обижаев Денис Юрьевич, Турков Владимир Евгеньевич
Катушка индуктивности, изготовленная по МЭМС-технологии
В настоящем докладе рассмотрены особенности формирования трехмерной катушки индуктивности с ферромагнитным сердечником по технологии МЭМС, имеющей высокое аспектное соотношение столбчатых выводов, а также представлены результаты исследования ее основных характеристик. УДК 621.391:004 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.511
Наноиндустрия #9/2018
Баранов Юрий Николаевич, Шварц Карл-Генрих Маркусович, Соколов Евгений Макарович, Стаценко Владимир Николаевич, Федотов Сергей Дмитриевич, Тарасов Дмитрий Владимирович, Тимошенков Сергей Петрович
Газотранспортный хлоридный перенос кремния в сэндвич-системе
В данной работе представлены результаты разработки и исследования процесса формирования эпитаксиальных слоев кремния, полученных с помощью хлоридного газотранспортного переноса в сэндвич-системе. Изучено формирование моно- и поликристаллических слоев на различных кремниевых подложках, а также на структурах типа «кремний с диэлектрической изоляцией» (КСДИ, EPIC). Исследованы распределения температуры в сэндвич-системе и толщины эпитаксиального слоя по площади подложки. Изучены зависимости скорости роста слоя от температуры пластины-источника и подложки, соотношения Cl/H и величины зазора между пластинами в сэндвич-системе. Скорость роста поликристаллических слоев на КСДИ достигает 12 мкм/мин при толщине слоев 300–600 мкм, монокристаллических слоев Si на кремниевых подложка 8–10 мкм/мин при толщине слоев 40–100 мкм. Наиболее значимой особенностью процесса хлоридного газотранспортного переноса кремния с практической точки зрения является то, что при формировании эпитаксиальных слоев в качестве источника кремния можно использовать отбракованные пластины и структуры, прошедшие различные циклы эпитаксиального производства. Механизм переноса позволяет формировать эпитаксиальные монокристаллические слои и поликристаллические опорные слои со скоростью роста более 10 мкм/мин вне зависимости от качества пластины —источника Si, что значительно снижает себестоимость процесса изготовления. УДК 546.05:548.55:54628.121:660.94.49/(Ж/О)35.20 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.273.280
Наноиндустрия #2/2018
Д.Вюнш, Л.Пурвин, Р.Мартинка, И.Шуберт, Р.Юнганс, М.Баум, М.Вимер, Т.Отто
Временное сращивание пластин – ключевая технология для МЭМС-устройств
Утонение после временного сращивания пластин – ключевая технология 3D-интеграции датчиков и электронных компонентов для получения миниатюрных систем. Обработка ультратонких кремниевых пластин является сложным процессом, поэтому были разработаны различные технологии их временного сращивания с носителем для стабилизации и защиты пластин во время производственных операций. УДК 621.382.2 /.3; ВАК 05.27.06; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.144.154