Технология производства электродов алюминиевых электролитических конденсаторов посредством вакуумного напыления фольги – одна из наиболее перспективных [1]. Она предусматривает вакуумное испарение титана с последующей конденсацией материала из паровой фазы на алюминиевую фольгу, непрерывно перемещающуюся над испарителем. В результате на алюминиевой фольге толщиной 15—30 мкм формируется высокопористое титановое покрытие толщиной 1–3 мкм [2], после чего на него наносится защитный слой нитрида титана. Полученная структура обеспечивает высокую емкость электролитических конденсаторов. Однако широкому распространению метода препятствует отсутствие специализированного промышленного оборудования. Известные установки для металлизации, такие как А500, А600 фирмы LEYBOLD (Германия), KAV50/40, KZF50/50 фирмы GALILEO VACUUM TEC (Италия) и другие предназначены для работы со сравнительно легкоплавкими металлами (алюминием, цинком, реже – серебром). Для осаждения тугоплавкого титана такое оборудование не подходит.

sitemap

Разработка: студия Green Art