В микроэлектронике на сегодняшний день наблюдается тенденция к все большей интеграции и миниатюризации изделий. Появляется спрос на повышение функциональности микросистем (например, интеграция механической, оптической и биологической систем), улучшение их характеристик, повышение производительности и снижение стоимости. Возможным решением всех этих вопросов может стать трехмерная (3D) интеграция.

sitemap

Разработка: студия Green Art