В статье рассмотрен метод масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой, который позволяет с высокой чувствительностью проводить как количественный, так и качественный анализ примесей большинства металлов и ряда неметаллов в химикатах, специальных газах и полупроводниковых структурах, применяемых в микроэлектронном производстве.