eng
Выпуск #5/2026
А. Соболев
ДИАГНОСТИКА И НУЛЬ-МЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМЫ CF4+O2+Ar В РЕАКТОРЕ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ
ДИАГНОСТИКА И НУЛЬ-МЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМЫ CF4+O2+Ar В РЕАКТОРЕ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ
Просмотры: 4
DOI: 10.22184/1992-4178.2026.257.5.82.86
С помощью математического моделирования плазмы можно оптимизировать технологические процессы реактивного ионного травления без необходимости проведения большого числа дорогостоящих экспериментов. В статье представлена методика математического моделирования плазмохимических процессов, основанная на нуль-мерной глобальной модели в сочетании с зондовой диагностикой плазмы.
Теги: langmuir double probe low-temperature gas-discharge plasma reactive ion etching zero-dimensional plasma simulation двойной зонд лангмюра низкотемпературная газоразрядная плазма нуль-мерное моделирование плазмы реактивно-ионное травление
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
С помощью математического моделирования плазмы можно оптимизировать технологические процессы реактивного ионного травления без необходимости проведения большого числа дорогостоящих экспериментов. В статье представлена методика математического моделирования плазмохимических процессов, основанная на нуль-мерной глобальной модели в сочетании с зондовой диагностикой плазмы.
Теги: langmuir double probe low-temperature gas-discharge plasma reactive ion etching zero-dimensional plasma simulation двойной зонд лангмюра низкотемпературная газоразрядная плазма нуль-мерное моделирование плазмы реактивно-ионное травление
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
