Выпуск #4/2022
М. Назаренко, К. Моисеев, А. Сигов
ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССА ЖИДКОФАЗНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ РАЗЛИЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ
ОСОБЕННОСТИ ПРОЦЕССА ЖИДКОФАЗНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ДЛЯ РАЗЛИЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ
Просмотры: 349
DOI: 10.22184/1992-4178.2022.215.4.130.135
Рассмотрены особенности процесса жидкофазного магнетронного распыления (ЖФМР) для различных материалов. Отмечено, что метод ЖФМР благодаря своей универсальности и экологичности обладает большим потенциалом к замещению существующих производственных методов, предназначенных для формирования толстых слоев металлизации различного назначения.
Теги: classification liquid-phase magnetron sputtering material metallization жидкофазное магнетронное распыление классификация материал металлизация
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Рассмотрены особенности процесса жидкофазного магнетронного распыления (ЖФМР) для различных материалов. Отмечено, что метод ЖФМР благодаря своей универсальности и экологичности обладает большим потенциалом к замещению существующих производственных методов, предназначенных для формирования толстых слоев металлизации различного назначения.
Теги: classification liquid-phase magnetron sputtering material metallization жидкофазное магнетронное распыление классификация материал металлизация
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей