Новый подход к проблеме реконструкции трехмерного рельефа поверхности лишен недостатков традиционных методов на основе оптических приборов. Проблема рассматривается как задача распознавания образов, решаемая с помощью морфологических методов анализа изображений. Используя предложенный принцип, можно построить измерительный прибор на основе оптического микроскопа для применения его в микроэлектронике с целью измерения трехмерного рельефа поверхности микросхем. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ, грант №05-01-00615-а.

sitemap

Разработка: студия Green Art