DOI: 10.22184/1992-4178.2023.224.3.116.129

Расширение применения ИС и других полупроводниковых приборов как в традиционных для них областях, так и в новых сферах ведет к расширению производственной базы и увеличению закупок оборудования для производства с использованием перспективных процессов с минимальными проектными нормами.