Наноиндустрия #3-4/2025
Е.В.Панфилова, В.А.Дюбанов, А.Р.Ибрагимов, О.М.Ибрагимова, Д.Ю.Шрамко, Као Ван Хоа, И.И.Юрасова, А.Н.Двинянинов
ФОРМИРОВАНИЕ ФОТОННО-КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК SiO2 С РЕГУЛИРУЕМЫМ КОЛИЧЕСТВОМ СЛОЕВ МЕТОДАМИ УПРАВЛЯЕМОЙ САМООРГАНИЗАЦИИ
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2025.18.3-4.212.220 Фотонно-кристаллические сверхрешетки на основе сферических микрочастиц диоксида кремния обладают уникальными структурными, механическими, химическими и оптическими свойствами. Благодаря экономичной, основанной на самоорганизации технологии их формирования и широкому спектру возможных применений в микро- и наноэлектронике, фотонике и лазерной технике они являются одним из наиболее перспективных материалов наноинженерии. Для перехода к практическому использованию разработок в этой области необходимо научиться получать структуры с управляемыми параметрами. Поэтому цель данной работы заключалась в разработке научных и технических решений, позволяющих реализовывать управляемую самоорганизацию сферических частиц в пленочную структуру с регулируемым количеством слоев.
Наноиндустрия #7-8/2023
Л.И.Кравец, В.А.Алтынов, Р.В.Гайнутдинов, Е.В.Шестериков, И.В.Кулинич, С.И.Твердохлебов
ФОРМИРОВАНИЕ КОМПОЗИЦИОННЫХ МЕМБРАН С АСИММЕТРИЕЙ ПРОВОДИМОСТИ МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ НАНОЧАСТИЦ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2023.16.7-8.416.425 Проведено исследование поверхностных и электрохимических свойств трековой мембраны из полиэтилентерефталата, на одну из сторон которой методом плазмохимического осаждения из газовой фазы смеси силана и закиси азота наносили наноразмерные покрытия из диоксида кремния. Показано, что осаждение слоя диоксида кремния на поверхность мембраны приводит к созданию композиционных мембран, обладающих в растворах электролитов асимметрией проводимости.
Электроника НТБ #6/2019
В. Иванов
Хлорирование в солевом расплаве в технологии производства поликристаллического кремния
Для снижения себестоимости поликремния предлагается в качестве сырья использовать материалы, содержащие диоксид кремния. Описаны процесс хлорирования кремнезема в соляном расплаве и применяющиеся сырьевые материалы. Определены расходы основных сырьевых материалов, их стоимость в традиционной и предлагаемой новой технологии производства поликремния. Проведен сравнительный анализ расчетных значений. DOI: 10.22184/1992-4178.2019.187.6.154.160