eng
Выпуск #5/2019
С. Аваков, В. Матюшков, А. Вискушенко, А. Казаков
Отраслевая лаборатория испытаний и нанодиагностики спецтехнологического оборудования (ОЛИН СТО)
Отраслевая лаборатория испытаний и нанодиагностики спецтехнологического оборудования (ОЛИН СТО)
Просмотры: 1753
В статье описаны организационная структура, цели, задачи и оснащение отраслевой лаборатории испытаний и нанодиагностики спецтехнологического оборудования, созданной в ОАО «КБТЭМ-ОМО».
Теги: certification industry laboratory metrological assurance reference measure test equipment аттестация испытательное оборудование метрологическое обеспечение отраслевая лаборатория эталонная мера
В соответствии с Постановлением Совета Министров Республики Беларусь от 09.02.2017 № 110 в сентябре 2017 года в г. Минске в ОАО «КБТЭМ-ОМО» холдинга «Планар» была создана отраслевая лаборатория испытаний и нанодиагностики спецтехнологического оборудования (ОЛИН СТО). Согласно Постановлению, отраслевой лабораторией является подразделение, создаваемое в структуре научной организации для обеспечения выполнения научно-исследовательских (НИР), опытно-конструкторских (ОКР) и опытно-технологических (ОТР) работ, научного сопровождения инновационных проектов, опытно-промышленных лабораторий и внедрения в производство результатов научной и научно-технической деятельности в организациях профильной области или отрасли, осуществляющей свою деятельность на основе плана совместных работ с республиканскими органами государственного управления и иными государственными организациями, подчиненными Правительству Республики Беларусь, Национальной академии наук Беларуси, реализующими государственную политику в соответствующей сфере. Рассмотрим организационную структуру, цели и задачи ОЛИН СТО.
Организационная структура ОЛИН СТО приведена на рис. 1.
В ОАО «КБТЭМ-ОМО» аттестованы на соответствие международным и национальным требованиям стандартов два структурных подразделения предприятия:
● центральная испытательная лаборатория (аттестат аккредитации BY / 112 2.3734, действующий до 19 марта 2022 года) на соответствие требованиям СТБ ИСО / МЭК 17025;
● отдел метрологии (аттестат аккредитации № BY / 112 3.0256, действующий до 30 августа 2020 года) на соответствие требованиям СТБ ИСО МЭК 17025.
Эти структурные подразделения выполняют следующие виды работ:
● испытания технических средств на соответствие требованиям электромагнитной совместимости, электробезопасности;
● измерения и исследования вредных факторов производственной среды (физических и химических) на соответствие требованиям технических, нормативных и правовых актов в области охраны труда, санитарно-промышленного и экологического контроля;
● измерения элементов топологии на фотошаблонах и на полупроводниковых пластинах в нанометровом диапазоне; измерения линейных и угловых размеров, формы и расположения поверхностей деталей; измерения геометрических размеров деталей оптического производства.
Финансирование работ ОЛИН СТО осуществляется по двум направлениям:
● в рамках государственных научно-технических программ (ГНТП) Республики Беларусь и в рамках научно-технических программ Союзного государства (разработка и производство испытательного оборудования);
● приобретение метрологического и испытательного оборудования за собственные средства, а также из бюджетных источников: республиканского централизованного инновационного фонда, инновационного фонда Минского горисполкома, а также фонда развития материально-технической базы научных организаций.
Создание ОЛИН СТО преследует две цели:
● подтверждение соответствия требованиям отечественных и международных технических регламентов (директив);
● метрологическое обеспечение геометрических измерений топологии полупроводниковых пластин и фотошаблонов в субмикрометровом и нанометровом диапазонах.
Для достижения первой цели в ОАО «КБТЭМ-ОМО» ведутся работы по созданию автоматизированного диагностического комплекса для оценки помехоустойчивости и помехоизлучаемости автомобильной электроники по требованиям Правил ЕЭК ООН № 10 в рамках научно-технической программы Союзного государства «Автоэлектроника».
Предыдущие 13 работ были выполнены в период с 1985 по 2017 год. Каждая из них предусматривала создание не менее шести наименований испытательного оборудования. За все это время в общей сложности разработано и освоено более 150 наименований испытательного оборудования по следующим видам испытаний: электромагнитная совместимость, электробезопасность, влагозащита, механическая прочность и пожаробезопасность.
Оснащение испытательных подразделений ОЛИН СТО испытательным оборудованием, как разработанным и произведенным в рамках ОКР, так и приобретенным у сторонних организаций, позволило решить проблему подтверждения соответствия требованиям следующих технических регламентов:
● ТР ТС 020 / 2011 «Электромагнитная совместимость технических средств»;
● ТР ТС 004 / 2011 «О безопасности низковольтного оборудования».
Данные документы – практически полные аналоги соответствующих директив Европейского сообщества.
В настоящее время в ОАО «КБТЭМ-ОМО» ведутся работы:
● по внесению в реестр средств измерений Республики Беларусь и Российской Федерации контрольно-измерительного оборудования собственного производства;
● получению сертификата соответствия со знаками «CE» (Евросоюз), UL (США), а также соответствия требованиям ассоциации поставщиков оборудования для производства полупроводников (SEMI).
Все приборы при поставках проходят аттестацию (калибровку) согласно утвержденным в Белорусском государственном институте метрологии (БелГИМ) методикам аттестации (калибровки), которые признаются во всех странах ЕвроЗЭС.
За последние несколько лет испытательное оборудование, разработанное в ОАО «КБТЭМ-ОМО», неоднократно экспортировалось на предприятия стран СНГ: в Российской Федерации (ООО «Прибор-Тест», ОАО «Альфа-Серт», ОАО «ВНИКТИ», АО «Научно-исследовательский центр «Прикладная Логистика», ООО «АлМакс-Ком», ООО «ТестСертифико», ООО «Радиофизические
Тестовые Технологии», ООО «МАКСМЕДТЕХ», ООО «Медико-технологическое агентство», ООО «Стандарт-Групп», ООО «МедТестПрибор», ООО «Вега-Абсолют», ООО «Поток», ООО «Мостандарт»); в Казахстане (ТОО «Казпромэлектроника», ТОО «Сертек», ТОО «КазТест-Электроника»); в Узбекистане (Государственное предприятие «Республиканский центр испытаний и сертификации агентства «Узстандарт», ООО TAROZI STANDART SERVIS).
Для достижения второй цели (нанодиагностики) необходимо решить ряд задач:
● изготовление или приобретение эталонных мер ширины и высоты нанометрового диапазона;
● приборное обеспечение методик измерения в нанометровом диапазоне;
● исследование геометрических форм топологии на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах;
● разработка методик измерения геометрических размеров в нанометровом диапазоне на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах;
● аттестация (калибровка) средств измерения геометрических размеров;
● аккредитация отраслевой лаборатории испытаний и нанодиагностики спецтехнологического оборудования (ОЛИН СТО) в части нанометрологии на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах.
Первая задача решается путем приобретения следующих эталонных мер: ширины MRS‑6 (Geller MicroÅnalytical Laboratory) и высоты H8 (NANOSENSORS).
Наличие калибровочных сертификатов для этих мер позволяет провести калибровку измерительной техники.
Для решения второй задачи составлен план оснащения ОЛИН СТО на 2017–2020 годы, который согласован с Министерством промышленности Республики Беларусь и Национальной академией наук Беларуси. В рамках выполнения этого плана и создания ОЛИН СТО уже закуплена часть оборудования (табл. 1), остальное будет приобретено в ближайшее время (табл. 2).
Данное оборудование позволяет выполнять измерения элементов на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах, производить прецизионную обработку оптических деталей с повышенным требованием к качеству оптической поверхности (на уровне не менее λ / 200 и выше) и экспонировать пучком электронов изображения в фоторезисте, нанесенном на фотошаблонные заготовки или полупроводниковые пластины. Причем микроскоп Nova Nano Sem 650 и профилометр Talysurf CCI Lite прошли калибровку с помощью эталонных мер длины и высоты. На эти приборы получены свидетельства калибровки, выданные РУП «БелГИМ».
Оснащение предприятия оборудованием позволит решить задачи по исследованию геометрических форм топологии, разработке и метрологическому обеспечению методик измерения геометрических размеров элементов на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах в нанометровом диапазоне. Наряду с этим будет обеспечиваться контроль качества технологических процессов изготовления деталей и узлов спецтехнологического оборудования для производства изделий микроэлектроники, в частности, технологических процессов изготовления оптических деталей и узлов оборудования, что в перспективе даст возможность выйти на технологический уровень производства СБИС 90…45 нм.
Таким образом, достижение первой цели позволит:
● создать материальную базу для испытательного центра (ИЦ) предприятия;
● аккредитовать ИЦ на проведение испытаний, подтверждающих соответствие: техническим регламентам ЕвроЗЭС (знак EAC), директивам ЕС (знак EC), законам США (знак UL), требованиям нормативных документов SEMI;
● оказывать услуги сторонним организациям в части испытаний бытовой, вычислительной, медицинской и другой техники.
Достижение второй цели позволит:
● создать материальную базу отдела метрологии предприятия;
● обеспечить технический контроль производства на различных стадиях изготовления высокоточных оптических и механических деталей СТО;
● аккредитовать центр нанодиагностики (отдел метрологии) на право проведения геометрических измерений элементов в нанометровом диапазоне на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах в соответствии с разработанными и утвержденными методиками при испытаниях спецтехнологического оборудования для производства изделий микроэлектроники.
Организационная структура ОЛИН СТО приведена на рис. 1.
В ОАО «КБТЭМ-ОМО» аттестованы на соответствие международным и национальным требованиям стандартов два структурных подразделения предприятия:
● центральная испытательная лаборатория (аттестат аккредитации BY / 112 2.3734, действующий до 19 марта 2022 года) на соответствие требованиям СТБ ИСО / МЭК 17025;
● отдел метрологии (аттестат аккредитации № BY / 112 3.0256, действующий до 30 августа 2020 года) на соответствие требованиям СТБ ИСО МЭК 17025.
Эти структурные подразделения выполняют следующие виды работ:
● испытания технических средств на соответствие требованиям электромагнитной совместимости, электробезопасности;
● измерения и исследования вредных факторов производственной среды (физических и химических) на соответствие требованиям технических, нормативных и правовых актов в области охраны труда, санитарно-промышленного и экологического контроля;
● измерения элементов топологии на фотошаблонах и на полупроводниковых пластинах в нанометровом диапазоне; измерения линейных и угловых размеров, формы и расположения поверхностей деталей; измерения геометрических размеров деталей оптического производства.
Финансирование работ ОЛИН СТО осуществляется по двум направлениям:
● в рамках государственных научно-технических программ (ГНТП) Республики Беларусь и в рамках научно-технических программ Союзного государства (разработка и производство испытательного оборудования);
● приобретение метрологического и испытательного оборудования за собственные средства, а также из бюджетных источников: республиканского централизованного инновационного фонда, инновационного фонда Минского горисполкома, а также фонда развития материально-технической базы научных организаций.
Создание ОЛИН СТО преследует две цели:
● подтверждение соответствия требованиям отечественных и международных технических регламентов (директив);
● метрологическое обеспечение геометрических измерений топологии полупроводниковых пластин и фотошаблонов в субмикрометровом и нанометровом диапазонах.
Для достижения первой цели в ОАО «КБТЭМ-ОМО» ведутся работы по созданию автоматизированного диагностического комплекса для оценки помехоустойчивости и помехоизлучаемости автомобильной электроники по требованиям Правил ЕЭК ООН № 10 в рамках научно-технической программы Союзного государства «Автоэлектроника».
Предыдущие 13 работ были выполнены в период с 1985 по 2017 год. Каждая из них предусматривала создание не менее шести наименований испытательного оборудования. За все это время в общей сложности разработано и освоено более 150 наименований испытательного оборудования по следующим видам испытаний: электромагнитная совместимость, электробезопасность, влагозащита, механическая прочность и пожаробезопасность.
Оснащение испытательных подразделений ОЛИН СТО испытательным оборудованием, как разработанным и произведенным в рамках ОКР, так и приобретенным у сторонних организаций, позволило решить проблему подтверждения соответствия требованиям следующих технических регламентов:
● ТР ТС 020 / 2011 «Электромагнитная совместимость технических средств»;
● ТР ТС 004 / 2011 «О безопасности низковольтного оборудования».
Данные документы – практически полные аналоги соответствующих директив Европейского сообщества.
В настоящее время в ОАО «КБТЭМ-ОМО» ведутся работы:
● по внесению в реестр средств измерений Республики Беларусь и Российской Федерации контрольно-измерительного оборудования собственного производства;
● получению сертификата соответствия со знаками «CE» (Евросоюз), UL (США), а также соответствия требованиям ассоциации поставщиков оборудования для производства полупроводников (SEMI).
Все приборы при поставках проходят аттестацию (калибровку) согласно утвержденным в Белорусском государственном институте метрологии (БелГИМ) методикам аттестации (калибровки), которые признаются во всех странах ЕвроЗЭС.
За последние несколько лет испытательное оборудование, разработанное в ОАО «КБТЭМ-ОМО», неоднократно экспортировалось на предприятия стран СНГ: в Российской Федерации (ООО «Прибор-Тест», ОАО «Альфа-Серт», ОАО «ВНИКТИ», АО «Научно-исследовательский центр «Прикладная Логистика», ООО «АлМакс-Ком», ООО «ТестСертифико», ООО «Радиофизические
Тестовые Технологии», ООО «МАКСМЕДТЕХ», ООО «Медико-технологическое агентство», ООО «Стандарт-Групп», ООО «МедТестПрибор», ООО «Вега-Абсолют», ООО «Поток», ООО «Мостандарт»); в Казахстане (ТОО «Казпромэлектроника», ТОО «Сертек», ТОО «КазТест-Электроника»); в Узбекистане (Государственное предприятие «Республиканский центр испытаний и сертификации агентства «Узстандарт», ООО TAROZI STANDART SERVIS).
Для достижения второй цели (нанодиагностики) необходимо решить ряд задач:
● изготовление или приобретение эталонных мер ширины и высоты нанометрового диапазона;
● приборное обеспечение методик измерения в нанометровом диапазоне;
● исследование геометрических форм топологии на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах;
● разработка методик измерения геометрических размеров в нанометровом диапазоне на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах;
● аттестация (калибровка) средств измерения геометрических размеров;
● аккредитация отраслевой лаборатории испытаний и нанодиагностики спецтехнологического оборудования (ОЛИН СТО) в части нанометрологии на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах.
Первая задача решается путем приобретения следующих эталонных мер: ширины MRS‑6 (Geller MicroÅnalytical Laboratory) и высоты H8 (NANOSENSORS).
Наличие калибровочных сертификатов для этих мер позволяет провести калибровку измерительной техники.
Для решения второй задачи составлен план оснащения ОЛИН СТО на 2017–2020 годы, который согласован с Министерством промышленности Республики Беларусь и Национальной академией наук Беларуси. В рамках выполнения этого плана и создания ОЛИН СТО уже закуплена часть оборудования (табл. 1), остальное будет приобретено в ближайшее время (табл. 2).
Данное оборудование позволяет выполнять измерения элементов на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах, производить прецизионную обработку оптических деталей с повышенным требованием к качеству оптической поверхности (на уровне не менее λ / 200 и выше) и экспонировать пучком электронов изображения в фоторезисте, нанесенном на фотошаблонные заготовки или полупроводниковые пластины. Причем микроскоп Nova Nano Sem 650 и профилометр Talysurf CCI Lite прошли калибровку с помощью эталонных мер длины и высоты. На эти приборы получены свидетельства калибровки, выданные РУП «БелГИМ».
Оснащение предприятия оборудованием позволит решить задачи по исследованию геометрических форм топологии, разработке и метрологическому обеспечению методик измерения геометрических размеров элементов на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах в нанометровом диапазоне. Наряду с этим будет обеспечиваться контроль качества технологических процессов изготовления деталей и узлов спецтехнологического оборудования для производства изделий микроэлектроники, в частности, технологических процессов изготовления оптических деталей и узлов оборудования, что в перспективе даст возможность выйти на технологический уровень производства СБИС 90…45 нм.
Таким образом, достижение первой цели позволит:
● создать материальную базу для испытательного центра (ИЦ) предприятия;
● аккредитовать ИЦ на проведение испытаний, подтверждающих соответствие: техническим регламентам ЕвроЗЭС (знак EAC), директивам ЕС (знак EC), законам США (знак UL), требованиям нормативных документов SEMI;
● оказывать услуги сторонним организациям в части испытаний бытовой, вычислительной, медицинской и другой техники.
Достижение второй цели позволит:
● создать материальную базу отдела метрологии предприятия;
● обеспечить технический контроль производства на различных стадиях изготовления высокоточных оптических и механических деталей СТО;
● аккредитовать центр нанодиагностики (отдел метрологии) на право проведения геометрических измерений элементов в нанометровом диапазоне на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах в соответствии с разработанными и утвержденными методиками при испытаниях спецтехнологического оборудования для производства изделий микроэлектроники.
Отзывы читателей
