DOI: 10.22184/1992-4178.2026.253.1.58.64

В статье рассматривается метод очистки flip-chip-компонентов с применением СВЧ-плазмы, а также описывается специализированное оборудование для микроволновой плазменной обработки. Проведен сравнительный анализ данного метода и традиционных подходов, отмечена его эффективность при очистке узких зазоров.

sitemap

Разработка: студия Green Art