Рассмотрен контроль качества покрытий посредством рентгенофлуоресцентного анализа с использованием энергодисперсионных спектрометров (РФА-ЭДС). Отмечено, что РФА-ЭДС-спектрометры позволяют выполнять автоматизированный контроль качества (толщины) как однослойных, так и многослойных покрытий толщиной от нескольких десятков микрон до десятков нанометров по всей поверхности образца, что важно для повышения эффективности современных производств.

УДК 543.427.4 | ВАК 05.11.00
DOI: 10.22184/1992-4178.2018.172.1.92.96

sitemap

Разработка: студия Green Art