eng
Выпуск #2/2023
А. Махаринец, Л. Милешко
ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЕ АНОДИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ, КАРБИДА И НИТРИДА КРЕМНИЯ ДЛЯ ЦЕЛЕЙ НАНОТЕХНОЛОГИИ (ОБЗОР)
ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЕ АНОДИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ, КАРБИДА И НИТРИДА КРЕМНИЯ ДЛЯ ЦЕЛЕЙ НАНОТЕХНОЛОГИИ (ОБЗОР)
Просмотры: 224
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.88.90
Представлен анализ технологий формирования нанометровых анодных оксидных пленок (АОП) методом электролитического анодирования кремния, карбида и нитрида кремния. Приведены примеры использования таких технологий в микро- и наноэлектронике.
Теги: anodic oxide films electrolytic anodizing silicon silicon carbide silicon nitride анодные оксидные пленки карбид кремния кремний нитрид кремния электролитическое анодирование
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Представлен анализ технологий формирования нанометровых анодных оксидных пленок (АОП) методом электролитического анодирования кремния, карбида и нитрида кремния. Приведены примеры использования таких технологий в микро- и наноэлектронике.
Теги: anodic oxide films electrolytic anodizing silicon silicon carbide silicon nitride анодные оксидные пленки карбид кремния кремний нитрид кремния электролитическое анодирование
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
