Наноиндустрия #5/2024
С.А.Жукова, Д.Ю.Обижаев, С.А.Ульянов, М.А.Зиновьев, Д.Д.Рискин, С.Ю.Суздальцев, Е.Н.Фролов, Ю.А.Ганцева
СОЗДАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ И ОРГАНИЗАЦИЯ ИХ СЕРИЙНОГО ПРОИЗВОДСТВА DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2024.17.5.282.290 В ФГУП "ЦНИИХМ" создана линейка микромеханических датчиков линейных ускорений. В состав линейки входят датчики трех исполнений ММА-2, ММА-10 и ММА-30 с диапазонами преобразования ±20 м/с2, ±100 м/с2 и ±300 м/с2 соответственно. Датчики предназначены для использования в составе систем ориентации, стабилизации и навигации в составе различных изделий. Проведен полный комплекс испытаний, подтверждающий заявленные технические характеристики и стойкость к внешним воздействиям, а также утверждена рабочая конструкторская документация для организации серийного производства. Возможный объем производства датчиков составляет несколько тысяч штук в год. Электроника НТБ #6/2024
В. Кочемасов, Е. Торина, А. Сафин
МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ ВЧ / СВЧ-СИГНАЛОВ. ЧАСТЬ 3 DOI: 10.22184/1992-4178.2024.237.6.88.97 Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ / СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках МЭМС-переключателей компании Menlo Micro. Электроника НТБ #5/2024
В. Кочемасов, Е. Торина, А. Сафин
МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ ВЧ / СВЧ-СИГНАЛОВ. ЧАСТЬ 2 DOI: 10.22184/1992-4178.2024.236.5.86.96 Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ/СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках МЭМС-переключателей компании Analog Devices. Электроника НТБ #4/2024
В. Кочемасов, Е. Торина, А. Сафин
МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ ВЧ / СВЧ-СИГНАЛОВ. ЧАСТЬ 1 DOI: 10.22184/1992-4178.2024.235.4.76.84 Рассмотрены МЭМС-переключатели ВЧ / СВЧ-сигналов. Приведена информация об особенностях и характеристиках различных типов таких устройств, выпускаемых рядом производителей. Электроника НТБ #2/2022
А. Бойко, Д. Гаев, С. Тимошенков
КОРПУСИРОВАНИЕ МЭМС: ПРОБЛЕМЫ И РЕШЕНИЯ DOI: 10.22184/1992-4178.2022.213.2.88.92 Одним из наиболее сложных этапов производства микроэлектромеханических систем (МЭМС) является корпусирование, которое до сих пор остается «бутылочным горлышком» при решении задачи массового выпуска изделий. В настоящей работе внимание сфокусировано на проблеме вакуумной герметизации в технологии корпусирования МЭМС и способах ее решения. Наноиндустрия #6/2021
А.Быкова, И.Род, К.Битаров, А.Казачков, Я.Минаева, К.Ракетов, В.Трушин, А.Фролова, Д.Подгорный, Д.Шамирян
Методика удаления кремниевых поверхностных микродефектов лазерной абляцией DOI: 10.22184/1993-8578.2021.14.6.342.349 Одним из ограничивающих факторов непрерывного повышения доли выхода годных микроразмерных изделий на МЭМС-производствах является ненулевой средний уровень плотности загрязнений производственных инфраструктур. Этот фактор влияет на появление поверхностных дефектов в конечных изделиях, которые могут нарушать функциональность сенсора, датчика. В работе предлагается метод постобработки готовых чувствительных элементов по удалению кремниевых дефектов без нарушения целостности изделия для перевода бракованного изделия в класс годных. Апробация предложенного метода на МЭМС-производстве ООО "МАППЕР" показала, что результативность метода удаления дефектов прецизионным лазерным испарением материала достигает 77% для партии обработанных элементов. Показатель результативности может быть увеличен за счет дальнейшей автоматизации процессов. Электроника НТБ #3/2021
А. Соловьев, С. Курдюков
СОВРЕМЕННЫЕ РЕШЕНИЯ ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ И ПРОЕКТИРОВАНИЯ МЭМС В СРЕДЕ CoventorMP DOI: 10.22184/1992-4178.2021.204.3.66.71 Специализированная платформа разработки CoventorMP позволяет эффективно проектировать, оптимизировать и интегрировать МЭМС-устройства. В статье рассмотрен основной функционал, возможности системы, а также особенности инструментов MEMS+ и CoventorWare, входящих в состав CoventorMP. Наноиндустрия #5/2020
М.Д.Андреев, В.А.Ковалев, В.В.Амеличев, С.С.Генералов, А.В.Николаева, С.А.Поломошнов, А.М.Гаськов, В.В.Кривецкий
Синтез ультрадисперсного диоксида олова распылительным пиролизом в пламени для струйной печати чувствительных элементов полупроводниковых газовых сенсоров DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.5.276.283 Методом струйной печати из устойчивых суспензий на поверхности МЭМС-структур с микронагревателем сформированы толстопленочные слои на основе нанокристаллического SnO2 с равномерной пористой структурой. Описаны параметры газовой чувствительности полученных материалов. Наноиндустрия #2/2019
А.Н.Алёшин
Семинар компании Eurointech собирает ведущих производителей и дистрибьюторов высокотехнологического оборудования Ежегодно компания Евроинтех проводит семинары для сотрудников российских предприятий, желающих получить информацию о современных технологиях, а также представителей компаний – производителей высокотехнологического оборудования. Компания Евроинтех известна в России как поставщик технологического оборудования для производства электроники и микроэлектроники, оборудования СВЧ и ПО для проектирования и создания печатных плат и электронных устройств, включая МЭМС. Евроинтех презентует свои решения, описывает их преимущества по сравнению с конкурирующими производителями, представляет планы и перспективы развития. DOI: 10.22184/1993-8578.2019.12.2.114.121 Наноиндустрия #7-8/2018
К.Ракетов, Н.Израилев, А.Казачков, Е.Заблоцкая, И.Род, М.Рябков, А.Исаченко, Д.Шамирян
Об автоматизированной системе детектирования дефектов на МЭМС-производстве Системы контроля продукции на различных технологических стадиях играют ключевую роль в обеспечении производства, улучшении производственных процессов и сокращении производственных потерь. В МЭМС-производстве для этого используется автоматизированная оптическая инспекция, создающая массив изображений, требующих обработки и анализа. В статье представлены результаты внедрения в ООО "МАППЕР" автоматизированной системы детектирования дефектов литографии, базирующейся на ПО для обработки изображений, разработанном ООО "АКСАЛИТ Софт". DOI: 10.22184/1993-8578.2018.11.7-8.542.548