Электроника НТБ #6/2025
В. Кочемасов, В. Горбачев, С. Хорев
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ ПО ТЕХНОЛОГИИ MEMS
DOI: 10.22184/1992-4178.2025.247.6.116.124 В статье представлен обзор основных технологий, применяемых для изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассматриваются особенности конструкций MEMS-конденсаторов и принципы их работы, а также приводятся примеры устройств на их основе