eng
Выпуск #6/2025
В. Кочемасов, В. Горбачев, С. Хорев
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ ПО ТЕХНОЛОГИИ MEMS
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ ПО ТЕХНОЛОГИИ MEMS
Просмотры: 12
DOI: 10.22184/1992-4178.2025.247.6.116.124
В статье представлен обзор основных технологий, применяемых для изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассматриваются особенности конструкций MEMS-конденсаторов и принципы их работы, а также приводятся примеры устройств на их основе
Теги: cmos fractal capacitor mems capacitor mems microphone mems-конденсатор mems-микрофон microfabrication technology variable capacitance кмоп переменная емкость технологии микрообработки фрактальный конденсатор
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
В статье представлен обзор основных технологий, применяемых для изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассматриваются особенности конструкций MEMS-конденсаторов и принципы их работы, а также приводятся примеры устройств на их основе
Теги: cmos fractal capacitor mems capacitor mems microphone mems-конденсатор mems-микрофон microfabrication technology variable capacitance кмоп переменная емкость технологии микрообработки фрактальный конденсатор
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
