Микромеханические акселерометры (ММА) широко применяются в космических аппаратах, авиации, автомобилестроении, высокоточном оружии – управляемых ракетных и артиллерийских снарядах [1, 2]. Акселерометры с малым диапазоном измерения используются для измерений углов наклона приборов, выходной сигнал акселерометра пропорционален синусу угла наклона по отношению к горизонту [3]. Один из важнейших элементов конструкции микромеханических акселерометров – подвесы (торсионы), их форма и размеры определяют важный параметр микроприборов – чувствительность. По результатам моделирования подвесов различной формы была выбрана оптимальная конструкция подвесов и изготовлены действующие макетные образцы микроприборов.

sitemap

Разработка: студия Green Art