DOI: 10.22184/1992-4178.2024.234.3.216.222

Чистые помещения в электронной промышленности играют ключевую роль при обеспечении высокого качества изделий. В статье рассматриваются технологические
решения и оборудование при создании чистых помещений и локальных чистых зон в высокотехнологичных отраслях промышленности.