eng
Выпуск #7/2025
В. Плебанович, В. Гришкевич
МИКРОСКОПИЯ В ОБЛАСТИ ГЛУБОКОГО УЛЬТРАФИОЛЕТА: ПРИНЦИПЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ В ПРОМЫШЛЕННОСТИ И НАУКЕ
МИКРОСКОПИЯ В ОБЛАСТИ ГЛУБОКОГО УЛЬТРАФИОЛЕТА: ПРИНЦИПЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ В ПРОМЫШЛЕННОСТИ И НАУКЕ
Просмотры: 17
DOI: 10.22184/1992-4178.2025.249.7.120.124
Рассматриваются физические основы и практика применения DUV-микроскопии. Развитие лазерных технологий и появление новых датчиков, современных оптических материалов открывает путь к ее широкому внедрению в микроэлектронике, биомедицине и материаловедении.
Теги: источники duv-излучения наноструктуры разрешающая способность ультрафиолетовая микроскопия
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Рассматриваются физические основы и практика применения DUV-микроскопии. Развитие лазерных технологий и появление новых датчиков, современных оптических материалов открывает путь к ее широкому внедрению в микроэлектронике, биомедицине и материаловедении.
Теги: источники duv-излучения наноструктуры разрешающая способность ультрафиолетовая микроскопия
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
