Статья посвящена применению метода Давидона – Флетчера – Пауэлла для поиска минимума целевой функции при расчете параметров профиля концентрации при ионном легировании. Разработанная программа продемонстрировала высокую эффективность в определении оптимальных параметров, подтверждая адекватность подхода для решения поставленной задачи.
Ключевые слова: ионная имплантация, диффузионная теория Бирсака, метод Давидона – Флетчера – Пауэлла, минимум целевой функции, оптимизация