DOI: 10.22184/1992-4178.2026.253.1.48.56
В статье представлен обзор различных типов кластерных установок, выпускаемых азиатскими производителями,
для проведения операций с тонкими пленками
на полупроводниковых пластинах. Рассмотрены ключевые параметры кластерного СТО, которые оказывают влияние
на процессы травления, осаждения и напыления тонких пленок.