DOI: 10.22184/1992-4178.2026.254.2.118.122

В статье обобщены современные методики и практика применения ионной хроматографии для анализа ультрачистой воды, химических реактивов, поверхности кремниевых пластин и атмосферы чистых комнат. Рассмотрены перспективы интеграции метода в высокотехнологичные производственные среды.