eng
DOI: 10.22184/1992-4178.2026.257.5.88.92
Графен является полуметаллом с нулевой запрещенной зоной и обладает уникальными электрическими, оптическими и механическими свойствами. В статье рассматриваются возможности и перспективы его применения в технологиях BEOL.
Теги: beol cmos graphene interconnects interlayer dielectrics moore’s law графен закон мура кмоп межслойные диэлектрики межсоединения
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Графен является полуметаллом с нулевой запрещенной зоной и обладает уникальными электрическими, оптическими и механическими свойствами. В статье рассматриваются возможности и перспективы его применения в технологиях BEOL.
Теги: beol cmos graphene interconnects interlayer dielectrics moore’s law графен закон мура кмоп межслойные диэлектрики межсоединения
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
