DOI: 10.22184/1992-4178.2026.258.6.152.158
В статье обсуждается метод микрочиповой ионной хроматографии для контроля чистоты технологических материалов в микроэлектронной промышленности, который снижает риск ложных загрязнений из-за контакта пробы с другими средами и обеспечивает более производительный и экономичный мониторинг загрязнений непосредственно в технологической линии. Рассмотрены основные сферы применения и перспективы развития этого метода.