DOI: 10.22184/1992-4178.2026.261.8.70.76
В статье рассматривается комплекс измерительных методов
и оборудования, необходимых для контроля качества
поликристаллических алмазных пленок (ПАП), получаемых
методом химического осаждения из газовой фазы. Приведены
примеры использования неразрушающих методов контроля
для выявления типичных дефектов роста ПАП, влияющих на
теплопроводность и конструкционную прочность изделий.