eng
Контроль содержания частиц в воздухе рабочей зоны производств, требующих особой чистоты атмосферы и поверхностей, очень важен для электронной промышленности, медицины, фармацевтики, биотехнологий и других отраслей. В статье рассказывается о различных приборах, с помощью которых можно определять концентрации частиц в чистых помещениях.
Среди фирм-производителей оборудования для контроля чистоты помещений заметное место занимает корпорация TSI (США), известная своими разработками в области анализаторов и спектрометров взвешенных частиц, противогазов и респираторов. Продукция TSI используется, в частности, такими известными организациями, как Пентагон и НАСА. Приборы TSI находят применение и в России.
В номенклатуре продукции TSI для контроля чистых помещений – счетчики частиц, датчики давления и необходимое программное обеспечение.
Счетчики частиц позволяют измерить количество частиц различных фракций (размеров), содержащихся в воздухе помещения. Это необходимо для контроля его соответствия тому или иному классу чистоты (табл.1).
Линейка счетчиков частиц (анализаторов) AeroTrak компании TSI включает несколько моделей – портативный счетчик 9306, переносные счетчики 9350 и 9550, а также стационарные счетчики 7310 и 7510.
По принципу действия все анализаторы AeroTrak относятся к оптическим счетчикам частиц. Регистрация частиц в них происходит за счет перекрывания светового потока от диодного лазера при прохождении пробы через измерительную ячейку (рис.1). Импульс света регистрируется фотодетектором. Одновременно подсчитывается число частиц в нескольких каналах, каждый из которых соответствует определенному размеру частиц. Источником вакуума служит встроенный насос с запатентованной технологией контроля расхода. Пробы воздуха можно отбирать в ручном или автоматическом режимах. Продолжительность пробоотбора составляет от 1 с до 99 ч, частота – от 1 до 9999 циклов или непрерывно. Приборы оснащены встроенной сигнализацией, которая выдает световой и звуковой сигналы при превышении заданных порогов концентрации частиц, а также в случае неисправности детектора или разряда батарей.
Рассмотрим особенности различных моделей анализаторов. Счетчик частиц модели 9306 (рис.2а, табл.2) относится к портативным приборам. Он помещается в руке и легок в эксплуатации. Прибор имеет встроенный дисплей с диагональю 3,7 дюйма и сенсорные кнопки, что делает управление и настройку максимально простыми. Встроенная память прибора сохраняет до 10000 измерений, которые можно вывести на экран, передать через порт USB на компьютер или распечатать с помощью опционного внешнего принтера.
Анализаторы частиц моделей 9350 и 9550 (рис.2б, табл.2) имеют большие размеры и массу по сравнению с прибором 9306 и принадлежат к переносным моделям. Их можно переносить за ручку, расположенную в верхней части корпуса. Данные от этих приборов можно передавать через встроенные USB- и Ethernet-порты.
Стационарный счетчик модели 7310 (7510) (рис.2в, табл.2) позволяет дистанционно контролировать концентрации аэрозольных частиц. Наличие цифрового выхода с протоколом Modbus дает возможность передавать данные при работе в сети из многих устройств, включая сами счетчики частиц, сенсоры температуры и давления и другие изделия. Прибор может быть подключен к сети Ethernet.
Прибор позволяет сохранять в памяти 3000 результатов измерений по четырем выбранным фракциям одновременно. Вместе с результатами измерений сохраняется диагностическая и дополнительная информация: ток лазера, освещенность, дата последней калибровки и др.
Счетчик 7310 (7510) может быть дополнительно оснащен сенсорами температуры и относительной влажности.
В комплекте с анализатором 7310 (7510) предлагается программное обеспечение серии FMS (Facility Monitoring System), с помощью которого можно обрабатывать различные сигналы от счетчиков частиц. Программа имеет многоуровневые меню, на которых в виде иконок отображается статус прибора – срабатывание сигнализации (красная иконка), сигнал "внимание" (желтая), нормальная работа (зеленая) или отказ (синяя). Для каждого подключенного прибора индицируется последнее измеренное значение. Содержание выводимой информации задается пользователем, что позволяет сгенерировать практически любые отчеты.
Все приборы производства TSI поставляются в удобных кейсах, где размещены элементы комплектации, в том числе опционные.
Поскольку в чистых помещениях создается избыточное давление воздуха, чтобы исключить попадание пыли и загрязнений из соседних помещений, необходимо контролировать перепад давлений. Для этого служит измеритель давления модели 8631 компании TSI (рис.3, табл.3). В комплект прибора входит блок управления и два датчика. Один из датчиков устанавливается за пределами чистого помещения, другой – внутри него, что позволяет контролировать перепад давлений. Если перепад слишком мал, слишком велик или отрицателен, прибор подает звуковой и световой сигналы тревоги.
Переносные анализаторы серии Aero Trak позволяют проводить периодический контроль чистых помещений в различных точках. В то же время анализаторы 7310 (7510) в комплекте с измерителем давления 8631 применимы для построения системы мониторинга, которая охватывает чистые помещения любого промышленного предприятия, начиная от цеха по производству печатных плат и заканчивая технологическими линиями по производству сложнейшей электроники.
В номенклатуре продукции TSI для контроля чистых помещений – счетчики частиц, датчики давления и необходимое программное обеспечение.
Счетчики частиц позволяют измерить количество частиц различных фракций (размеров), содержащихся в воздухе помещения. Это необходимо для контроля его соответствия тому или иному классу чистоты (табл.1).
Линейка счетчиков частиц (анализаторов) AeroTrak компании TSI включает несколько моделей – портативный счетчик 9306, переносные счетчики 9350 и 9550, а также стационарные счетчики 7310 и 7510.
По принципу действия все анализаторы AeroTrak относятся к оптическим счетчикам частиц. Регистрация частиц в них происходит за счет перекрывания светового потока от диодного лазера при прохождении пробы через измерительную ячейку (рис.1). Импульс света регистрируется фотодетектором. Одновременно подсчитывается число частиц в нескольких каналах, каждый из которых соответствует определенному размеру частиц. Источником вакуума служит встроенный насос с запатентованной технологией контроля расхода. Пробы воздуха можно отбирать в ручном или автоматическом режимах. Продолжительность пробоотбора составляет от 1 с до 99 ч, частота – от 1 до 9999 циклов или непрерывно. Приборы оснащены встроенной сигнализацией, которая выдает световой и звуковой сигналы при превышении заданных порогов концентрации частиц, а также в случае неисправности детектора или разряда батарей.
Рассмотрим особенности различных моделей анализаторов. Счетчик частиц модели 9306 (рис.2а, табл.2) относится к портативным приборам. Он помещается в руке и легок в эксплуатации. Прибор имеет встроенный дисплей с диагональю 3,7 дюйма и сенсорные кнопки, что делает управление и настройку максимально простыми. Встроенная память прибора сохраняет до 10000 измерений, которые можно вывести на экран, передать через порт USB на компьютер или распечатать с помощью опционного внешнего принтера.
Анализаторы частиц моделей 9350 и 9550 (рис.2б, табл.2) имеют большие размеры и массу по сравнению с прибором 9306 и принадлежат к переносным моделям. Их можно переносить за ручку, расположенную в верхней части корпуса. Данные от этих приборов можно передавать через встроенные USB- и Ethernet-порты.
Стационарный счетчик модели 7310 (7510) (рис.2в, табл.2) позволяет дистанционно контролировать концентрации аэрозольных частиц. Наличие цифрового выхода с протоколом Modbus дает возможность передавать данные при работе в сети из многих устройств, включая сами счетчики частиц, сенсоры температуры и давления и другие изделия. Прибор может быть подключен к сети Ethernet.
Прибор позволяет сохранять в памяти 3000 результатов измерений по четырем выбранным фракциям одновременно. Вместе с результатами измерений сохраняется диагностическая и дополнительная информация: ток лазера, освещенность, дата последней калибровки и др.
Счетчик 7310 (7510) может быть дополнительно оснащен сенсорами температуры и относительной влажности.
В комплекте с анализатором 7310 (7510) предлагается программное обеспечение серии FMS (Facility Monitoring System), с помощью которого можно обрабатывать различные сигналы от счетчиков частиц. Программа имеет многоуровневые меню, на которых в виде иконок отображается статус прибора – срабатывание сигнализации (красная иконка), сигнал "внимание" (желтая), нормальная работа (зеленая) или отказ (синяя). Для каждого подключенного прибора индицируется последнее измеренное значение. Содержание выводимой информации задается пользователем, что позволяет сгенерировать практически любые отчеты.
Все приборы производства TSI поставляются в удобных кейсах, где размещены элементы комплектации, в том числе опционные.
Поскольку в чистых помещениях создается избыточное давление воздуха, чтобы исключить попадание пыли и загрязнений из соседних помещений, необходимо контролировать перепад давлений. Для этого служит измеритель давления модели 8631 компании TSI (рис.3, табл.3). В комплект прибора входит блок управления и два датчика. Один из датчиков устанавливается за пределами чистого помещения, другой – внутри него, что позволяет контролировать перепад давлений. Если перепад слишком мал, слишком велик или отрицателен, прибор подает звуковой и световой сигналы тревоги.
Переносные анализаторы серии Aero Trak позволяют проводить периодический контроль чистых помещений в различных точках. В то же время анализаторы 7310 (7510) в комплекте с измерителем давления 8631 применимы для построения системы мониторинга, которая охватывает чистые помещения любого промышленного предприятия, начиная от цеха по производству печатных плат и заканчивая технологическими линиями по производству сложнейшей электроники.
Отзывы читателей
