eng
Выпуск #3/2008
Рассказывает генеральный директор НПП "ЭСТО" В.Б.Разумов
Современное отечественное технологическое оборудование: успехи и проблемы.
Современное отечественное технологическое оборудование: успехи и проблемы.
Просмотры: 4235
Виталий Борисович Разумов окончил факультет электронной техники Московского энергетического института (с красным дипломом) в 1988 году. С 1991 по 1993 год – директор направления в компании "Электронмашсервис". В 1993 году стал генеральным директором ЗАО "Электронсервис", в 2002 году возглавил и ЗАО "НПП "ЭСТО".
Виталий Борисович, как формировалась группа компаний "ЭСТО"?
Группа компаний "ЭСТО" (электронное специальное технологическое оборудование) – это объединение российских компаний, специализирующихся на разработках, производстве, модернизации, продаже и послепродажном обслуживании специального технологического оборудования. В 1993 году на базе пуско-наладочной организации Министерства электронной промышленности (МЭП) было образовано ЗАО "Электронсервис". Его деятельность начиналась с поставок бывшего в употреблении оборудования с его широкой модернизацией, инсталляцией и последующим сервисом. Основная специализация компании "Электронсервис" сегодня – инжиниринговые услуги по подготовке и обеспечению производственных процессов изготовления изделий электронной техники и смежных отраслей.
В том же 1993 году группой ведущих специалистов НИИ "Зенит" был образован научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ". С 1991 по 1996 год эта компания была ориентирована на производство лазеров и комплектующих для них. Но уже с 1996 года акценты стали смещаться в область разработки и производства лазерных систем для обработки материалов. С 1997 по 2002 год было создано и запущено в серию новое поколение лазерного технологического оборудования серии МЛ.
В те же годы действовала и самостоятельная группа разработчиков вакуумной техники и ионно-плазменных технологий, занимавшаяся на нескольких предприятиях созданием образцов вакуумной техники. В 2002 году они объединились и образовали компанию "ЭСТО"-вакуум" по разработке специализированного вакуумного оборудования для напыления и травления различных материалов.
В 2002 году была образована совместная структура – "Научно-производственное предприятие "ЭСТО", объединившая все эти компании. Изначально предполагалось, что одним из акционеров НПП "ЭСТО" будет завод "Ангстрем", который войдет долей капитала в виде площадей. Но "Ангстрем" отказался от этой идеи и продал нам под производственные площади то здание, в котором сегодня располагается компания. С 2002 по 2005 год эти площади оснащались современными инженерными коммуникациями и оборудованием.
В 2006 году была создана инновационная фирма "НИИ "ЭСТО", год назад получившая статус резидента свободной экономической зоны "Зеленоград". Этот проект ориентирован на разработку новейших лазерных и вакуумных технологий, создание образцов оборудования нового поколения, выстраивание связей и механизмов, стимулирующих инновационное развитие отечественного электронного машиностроения.
Отмечу, что основные акционеры всех предприятий группы компаний "ЭСТО" – частные лица, государственного капитала у нас нет вообще. Но вопрос участия государственных компаний в "ЭСТО" рассматривается. Без партнерства с государственными структурами нам будет очень тяжело, тем более с вхождением в технико-внедренческую зону. Поэтому мы готовы привлечь государственных инвесторов.
Какое оборудование производят столь разнопрофильные компании?
Все наши компании занимаются одним – технологическим оборудованием. От модернизации импортного или российского оборудования до производства нового. Так, компания "Лазеры и аппаратура ТМ" производит оборудование лазерной обработки. Серийно выпускается лазерное оборудование для микрообработки, гравировки и маркировки, сварки и размерной обработки, резки и раскроя, а также для подгонки резисторов – тонко- и толстопленочных. Машины раскроя металлов и других материалов оснащены большими координатными столами с линейными приводами, позволяющими обрабатывать материалы с высокой скоростью и точностью.
Кроме того, ведутся серьезные работы в области лазерной микрообработки, в том числе медицинских инструментов, включая хирургические иглы. Разрабатываются машины лазерного управляемого теромраскалывания – это очень перспективное направление, где есть серьезный научный задел. Создаются машины на волоконных высокомощных лазерах, позволяющих раскраивать материалы с высокой скоростью.
В области вакуумной техники мы выпускаем современное полностью автоматическое оборудование – магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления, плазмохимического травления, плазмостимулированного осаждения. Разработана серия машин Caroline – производится семь моделей в 12 модификациях. Среди них три типа установок магнетронного напыления, в том числе двухстороннего (металлов, резистивных слоев, кремния и т.п.) на полупроводниковые и диэлектрические подложки. Установки позволяют осаждать и толстые слои металла – до 15 мкм и более.
В серию Carolina также входят установки травления – ионно-лучевого, плазмохимического, ионнохимического. Шлюзовая установка Caroline PECVD15 предназначена для плазмостимулированного осаждения диэлектрических слоев. Возможно травление тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на керамических, кремниевых и любых плоских подложках диаметром до 200 мм. Например, установки травления кварца поставлены таким предприятиям, как ВНИИЭФ (Саров), НПП "Полет" (Нижний Новгород), установки обработки кремния – ВНИИ "Автоматика".
В основном потребителями вакуумных установок выступают производители гибридных микросхем, а также предприятия традиционной микроэлекроники для напыления тонких слоев металла – меди, титана, алюминия и т.п. Такое оборудование работает в ОАО "Орбита" (Саранск), на заводе "Старт" (Заречный), на ОАО "РПКБ" (Раменское) и т.д. Недавно к нам обратились представители Рязанского приборного завода – они работали на импортном оборудовании напыления, а теперь переходят на наше, поскольку оно оказалось лучше. Ведутся переговоры о поставке нашего вакуумного оборудования на "Исток" и "Пульсар". И это – лишь отдельные примеры среди российских компаний.
Кроме того, мы выпускаем оборудование дисковой резки и микросварки (контактной и ультразвуковой). Оно производится на арендуемых площадях (порядка 1,5 тыс. м2) в технопарке "Цвет" на территории бывшего завода "Хроматрон". Все эти машины – полуавтоматические.
НПП "ЭСТО" в основном поставляет оборудование собственного производства. Но есть направления модернизации существующего оборудования. В частности, мы занимаемся глубокой модернизацией термического оборудования для микроэлектроники. Модернизация включает замену систем электронного управления, газонапуска, поддержания температуры – от старой печи остается только станина и термокамера, все остальное – наше. В результате получается фактически новая печь. Сейчас новые системы управления печами работают на "Интеграле" в Минске, на "Микроне", ФГУП "НПО ИТ" (Королев) идет полная модернизация четырех печей на "Ангстреме". Аналогично, посредством глубокой модернизации, выпускается сборочное оборудование и оборудование для фотолитографии.
Единственный недостаток нашего оборудования по сравнению с импортным – оно не полностью автоматическое, поэтому его нельзя встраивать в техпроцесс с большим объемом производства, в комплексы кластерных установок. Мы готовы выполнить соответствующие НИОКР по автоматизации оборудования, но на это нужны серьезные средства.
Группа компаний "ЭСТО" специализируется именно на производстве технологического оборудования?
Не только. Сегодня НПП "ЭСТО" способно не просто поставлять единичное оборудование, мы можем полностью оснастить технологическое производство, от производственного участка до завода. Например, нами полностью оснащен филиал завода "Ангстрем" в Китае, производственные участки на заводе приемо-передающих модулей в Нанкине (Китай), на Ижевском электромеханическом заводе.
У нас большой опыт поставки оборудования для производства гибридных микросборок. Сегодня эта продукция востребована в авиационной, космической отраслях, в судостроении, приборостроении, в электронной отрасли, атомной промышленности, в связи и т.п. Но в России 90% производств гибридных схем работает на совершенно устаревшей технике. Поэтому мы делаем упор на полное оснащение производства гибридных микросборок. Выпуская основное технологическое оборудование для этих производств – лазерное, вакуумно-плазменное, фотолитографическое, дисковой резки и микросварки – и дополняя его оборудованием других производителей, мы полностью оснащаем производство, от выпуска фотошаблонов до разварки выводов и корпусирования готовых приборов. В такой технологической цепочке может быть оборудование и других производителей, например установщики компонентов, паяльные печи, измерительное оборудование и т.п. Но мы осуществляем комплексную поставку, включая и такое оборудование. И сдаем весь производственный участок "под ключ".
Используемый нами комплексный подход чрезвычайно привлекателен для заказчика, поскольку за все отвечает одна компания. В результате у потребителя не может быть, например, такой ситуации, что установка нанесения фоторезиста неправильно наносит слой и поэтому не работает установка экспонирования. По такому принципу мы оснастили сначала опытные участки, а затем и технологические комплексы в федеральных ядерных центрах в Сарове (ВНИИЭФ) и в Снежинске (НИИТФ), цех микроэлектроники на Ижевском электромеханическом заводе, отдел гибридных микросхем РПКБ и др. Сейчас идут переговоры о поставке участка гибридных микросборок в НИИДАР. Ведутся работы по модернизации микросборочного производства в Заречном (завод "Старт"), частичные модернизации микросборочного производства в КБ "Лира" (Москва), ОКБ "Авиа-автоматика" (Курск), на заводе "Тензор" (Дубна) и др.
Важно отметить, что мы взаимодействуем с разработчиками производственных помещений – такими как "Мосэлектронпроект
Группа компаний "ЭСТО" (электронное специальное технологическое оборудование) – это объединение российских компаний, специализирующихся на разработках, производстве, модернизации, продаже и послепродажном обслуживании специального технологического оборудования. В 1993 году на базе пуско-наладочной организации Министерства электронной промышленности (МЭП) было образовано ЗАО "Электронсервис". Его деятельность начиналась с поставок бывшего в употреблении оборудования с его широкой модернизацией, инсталляцией и последующим сервисом. Основная специализация компании "Электронсервис" сегодня – инжиниринговые услуги по подготовке и обеспечению производственных процессов изготовления изделий электронной техники и смежных отраслей.
В том же 1993 году группой ведущих специалистов НИИ "Зенит" был образован научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ". С 1991 по 1996 год эта компания была ориентирована на производство лазеров и комплектующих для них. Но уже с 1996 года акценты стали смещаться в область разработки и производства лазерных систем для обработки материалов. С 1997 по 2002 год было создано и запущено в серию новое поколение лазерного технологического оборудования серии МЛ.
В те же годы действовала и самостоятельная группа разработчиков вакуумной техники и ионно-плазменных технологий, занимавшаяся на нескольких предприятиях созданием образцов вакуумной техники. В 2002 году они объединились и образовали компанию "ЭСТО"-вакуум" по разработке специализированного вакуумного оборудования для напыления и травления различных материалов.
В 2002 году была образована совместная структура – "Научно-производственное предприятие "ЭСТО", объединившая все эти компании. Изначально предполагалось, что одним из акционеров НПП "ЭСТО" будет завод "Ангстрем", который войдет долей капитала в виде площадей. Но "Ангстрем" отказался от этой идеи и продал нам под производственные площади то здание, в котором сегодня располагается компания. С 2002 по 2005 год эти площади оснащались современными инженерными коммуникациями и оборудованием.
В 2006 году была создана инновационная фирма "НИИ "ЭСТО", год назад получившая статус резидента свободной экономической зоны "Зеленоград". Этот проект ориентирован на разработку новейших лазерных и вакуумных технологий, создание образцов оборудования нового поколения, выстраивание связей и механизмов, стимулирующих инновационное развитие отечественного электронного машиностроения.
Отмечу, что основные акционеры всех предприятий группы компаний "ЭСТО" – частные лица, государственного капитала у нас нет вообще. Но вопрос участия государственных компаний в "ЭСТО" рассматривается. Без партнерства с государственными структурами нам будет очень тяжело, тем более с вхождением в технико-внедренческую зону. Поэтому мы готовы привлечь государственных инвесторов.
Какое оборудование производят столь разнопрофильные компании?
Все наши компании занимаются одним – технологическим оборудованием. От модернизации импортного или российского оборудования до производства нового. Так, компания "Лазеры и аппаратура ТМ" производит оборудование лазерной обработки. Серийно выпускается лазерное оборудование для микрообработки, гравировки и маркировки, сварки и размерной обработки, резки и раскроя, а также для подгонки резисторов – тонко- и толстопленочных. Машины раскроя металлов и других материалов оснащены большими координатными столами с линейными приводами, позволяющими обрабатывать материалы с высокой скоростью и точностью.
Кроме того, ведутся серьезные работы в области лазерной микрообработки, в том числе медицинских инструментов, включая хирургические иглы. Разрабатываются машины лазерного управляемого теромраскалывания – это очень перспективное направление, где есть серьезный научный задел. Создаются машины на волоконных высокомощных лазерах, позволяющих раскраивать материалы с высокой скоростью.
В области вакуумной техники мы выпускаем современное полностью автоматическое оборудование – магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления, плазмохимического травления, плазмостимулированного осаждения. Разработана серия машин Caroline – производится семь моделей в 12 модификациях. Среди них три типа установок магнетронного напыления, в том числе двухстороннего (металлов, резистивных слоев, кремния и т.п.) на полупроводниковые и диэлектрические подложки. Установки позволяют осаждать и толстые слои металла – до 15 мкм и более.
В серию Carolina также входят установки травления – ионно-лучевого, плазмохимического, ионнохимического. Шлюзовая установка Caroline PECVD15 предназначена для плазмостимулированного осаждения диэлектрических слоев. Возможно травление тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на керамических, кремниевых и любых плоских подложках диаметром до 200 мм. Например, установки травления кварца поставлены таким предприятиям, как ВНИИЭФ (Саров), НПП "Полет" (Нижний Новгород), установки обработки кремния – ВНИИ "Автоматика".
В основном потребителями вакуумных установок выступают производители гибридных микросхем, а также предприятия традиционной микроэлекроники для напыления тонких слоев металла – меди, титана, алюминия и т.п. Такое оборудование работает в ОАО "Орбита" (Саранск), на заводе "Старт" (Заречный), на ОАО "РПКБ" (Раменское) и т.д. Недавно к нам обратились представители Рязанского приборного завода – они работали на импортном оборудовании напыления, а теперь переходят на наше, поскольку оно оказалось лучше. Ведутся переговоры о поставке нашего вакуумного оборудования на "Исток" и "Пульсар". И это – лишь отдельные примеры среди российских компаний.
Кроме того, мы выпускаем оборудование дисковой резки и микросварки (контактной и ультразвуковой). Оно производится на арендуемых площадях (порядка 1,5 тыс. м2) в технопарке "Цвет" на территории бывшего завода "Хроматрон". Все эти машины – полуавтоматические.
НПП "ЭСТО" в основном поставляет оборудование собственного производства. Но есть направления модернизации существующего оборудования. В частности, мы занимаемся глубокой модернизацией термического оборудования для микроэлектроники. Модернизация включает замену систем электронного управления, газонапуска, поддержания температуры – от старой печи остается только станина и термокамера, все остальное – наше. В результате получается фактически новая печь. Сейчас новые системы управления печами работают на "Интеграле" в Минске, на "Микроне", ФГУП "НПО ИТ" (Королев) идет полная модернизация четырех печей на "Ангстреме". Аналогично, посредством глубокой модернизации, выпускается сборочное оборудование и оборудование для фотолитографии.
Единственный недостаток нашего оборудования по сравнению с импортным – оно не полностью автоматическое, поэтому его нельзя встраивать в техпроцесс с большим объемом производства, в комплексы кластерных установок. Мы готовы выполнить соответствующие НИОКР по автоматизации оборудования, но на это нужны серьезные средства.
Группа компаний "ЭСТО" специализируется именно на производстве технологического оборудования?
Не только. Сегодня НПП "ЭСТО" способно не просто поставлять единичное оборудование, мы можем полностью оснастить технологическое производство, от производственного участка до завода. Например, нами полностью оснащен филиал завода "Ангстрем" в Китае, производственные участки на заводе приемо-передающих модулей в Нанкине (Китай), на Ижевском электромеханическом заводе.
У нас большой опыт поставки оборудования для производства гибридных микросборок. Сегодня эта продукция востребована в авиационной, космической отраслях, в судостроении, приборостроении, в электронной отрасли, атомной промышленности, в связи и т.п. Но в России 90% производств гибридных схем работает на совершенно устаревшей технике. Поэтому мы делаем упор на полное оснащение производства гибридных микросборок. Выпуская основное технологическое оборудование для этих производств – лазерное, вакуумно-плазменное, фотолитографическое, дисковой резки и микросварки – и дополняя его оборудованием других производителей, мы полностью оснащаем производство, от выпуска фотошаблонов до разварки выводов и корпусирования готовых приборов. В такой технологической цепочке может быть оборудование и других производителей, например установщики компонентов, паяльные печи, измерительное оборудование и т.п. Но мы осуществляем комплексную поставку, включая и такое оборудование. И сдаем весь производственный участок "под ключ".
Используемый нами комплексный подход чрезвычайно привлекателен для заказчика, поскольку за все отвечает одна компания. В результате у потребителя не может быть, например, такой ситуации, что установка нанесения фоторезиста неправильно наносит слой и поэтому не работает установка экспонирования. По такому принципу мы оснастили сначала опытные участки, а затем и технологические комплексы в федеральных ядерных центрах в Сарове (ВНИИЭФ) и в Снежинске (НИИТФ), цех микроэлектроники на Ижевском электромеханическом заводе, отдел гибридных микросхем РПКБ и др. Сейчас идут переговоры о поставке участка гибридных микросборок в НИИДАР. Ведутся работы по модернизации микросборочного производства в Заречном (завод "Старт"), частичные модернизации микросборочного производства в КБ "Лира" (Москва), ОКБ "Авиа-автоматика" (Курск), на заводе "Тензор" (Дубна) и др.
Важно отметить, что мы взаимодействуем с разработчиками производственных помещений – такими как "Мосэлектронпроект