В данной публикации представлен Центр высоких технологий ФГУП "НИИФП им. Ф.В.Лукина" как мощный научно-технологический комплекс, предназначенный для развития современной элементной базы наноэлектроники и МЭМС. Показана структура Центра, его функциональные возможности и перспектива развития. В статье дан краткий анализ тенденций развития микро- и наноэлектроники. Дано описание кластерного технологического комплекса НАНОФАБ-100, а также назначение и функциональные возможности отдельных аналитических и технологических модулей. Описаны аналитические возможности Центра коллективного пользования и перечислены методы исследования различных гетероструктур, используемые при разработке элементной базы наноэлектроники. Показана перспективность и необходимость использования синхротронного излучения синхротрона "Зеленоград" при решении задач по исследованию различных наноэлектронных структур и при производстве интегральных схем с использованием методов рентгеновской нанолитографии.

sitemap

Разработка: студия Green Art