Статья знакомит читателей с основными тенденциями в развитии технологии СБИС, включая литографию, заводы будущего, интеграцию технологических процессов, кластерное оборудование. Ее авторы не ограничиваются рассмотрением тенденций, которые уже находят воплощение в практике. Благодаря широте научного кругозора им удается как бы заглянуть за горизонт общепризнанных путей решения стоящих проблем. В этом номере журнала публикуется первая часть статьи.