Выпуск #3/1997
Г.Красников, М.Лукасевич
БиКМОП БИС с самосовмещенной структурой – альтернатива зарубежным субмикронным КМОП БИС
БиКМОП БИС с самосовмещенной структурой – альтернатива зарубежным субмикронным КМОП БИС
Просмотры: 2066
Стратегическое отставание отечественной микроэлектроники составляет 10–15 лет. Располагая в 1997 – 1999 годах про изводством БИС с минимальными размерами элементов 1,2–0,8 мкм, она не выдержит конкуренции в области “чистых” КМОП ИС , которые за рубежом уже производятся с минимальными размерами 0,5 мкм и менее. Вместе с тем минимальный размер 1,2–0,8 мкм позволяет выпускать БиКМОП ИС с самосовмещенной структурой. Благодаря способности само формирования минимальных размеров с 0,8 до 0,4 мкм по электрическим параметрам они вполне могут конкурировать с сов ременными КМОП ИС.
Отзывы читателей