Сканирующая зондовая микроскопия начала развиваться с создания в 1981—1986 годах сканирующих туннельных и атомно–си ловых микроскопов физиками швейцарского отделения компании IBM в ходе работ в области микропрофилометров сверхвысокого разрешения. За прошедшие годы зондовые микроскопы стали привычным атрибутом практически любой современной мате
риаловедческой лаборатории. Широко применяются они и в промышленности, в частности в субмикронной электронике (меж операционный контроль пластин, тестирование и коррекция СБИС), в производстве DVD и CD дисков (контроль качества ма триц и выборочный контроль самих дисков), магнитных дисков (выборочный контроль качества магнитных покрытий), в опти
ческой промышленности (контроль качества обработки стекла, лазерных зеркал), промышленности полимеров (контроль качества и идентификация полимерных материалов), медицинской промышленности (контроль качества глазных линз) и др. В пос леднее время сканирующая зондовая микроскопия интенсивно используется и в производственных процессах.