eng
DOI: 10.22184/1992-4178.2022.218.7.134.138
Установка струйной отмывки в вакууме УСОТП-1, разработанная НПП «ПРОТОН», предназначена для технологической обработки (отмывки, ополаскивания, сушки) полупроводниковых пластин. Используется уникальная российская технология – «Струи в вакууме».
Теги: silicon wafers steam treatment vacuum jet cleaning кремниевые пластины обработка изделий паром струйная отмывка в вакууме
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Установка струйной отмывки в вакууме УСОТП-1, разработанная НПП «ПРОТОН», предназначена для технологической обработки (отмывки, ополаскивания, сушки) полупроводниковых пластин. Используется уникальная российская технология – «Струи в вакууме».
Теги: silicon wafers steam treatment vacuum jet cleaning кремниевые пластины обработка изделий паром струйная отмывка в вакууме
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
