eng
Выпуск #2/2023
О. Почтарь, А. Почтарь
ОЦЕНКА СТАБИЛЬНОСТИ И ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА МЕТАЛЛИЗАЦИИ ЧЕРЕЗ СВОБОДНУЮ МАСКУ
ОЦЕНКА СТАБИЛЬНОСТИ И ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА МЕТАЛЛИЗАЦИИ ЧЕРЕЗ СВОБОДНУЮ МАСКУ
Просмотры: 32
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.72.76
В статье на основе статистической обработки экспериментальных данных представлена оценка стабильности и воспроизводимости технологического процесса двухслойной металлизации кристаллов ниобата лития через свободную металлическую маску методом электронно-лучевого испарения.
Теги: electron beam evaporation process stability and reproducibility shewhart control charts statistical process control two-layer crystal metallization двухслойная металлизация кристаллов контрольные карты шухарта стабильность и воспроизводимость технологического процесса статистический контроль технологических процессов электронно-лучевое испарение
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
В статье на основе статистической обработки экспериментальных данных представлена оценка стабильности и воспроизводимости технологического процесса двухслойной металлизации кристаллов ниобата лития через свободную металлическую маску методом электронно-лучевого испарения.
Теги: electron beam evaporation process stability and reproducibility shewhart control charts statistical process control two-layer crystal metallization двухслойная металлизация кристаллов контрольные карты шухарта стабильность и воспроизводимость технологического процесса статистический контроль технологических процессов электронно-лучевое испарение
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
