Электроника НТБ #2/2023
Н. Шелепин
ГЛОБАЛИЗАЦИЯ И МОНОПОЛИЗАЦИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ В СОВРЕМЕННЫХ УСЛОВИЯХ
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.32.42 В статье рассмотрено современное состояние производства полупроводников в мире, тенденции и перспективы развития микроэлектронных технологий в различных регионах. Описаны беспрецедентные усилия США по возврату ведущих микроэлектронных производств на свою территорию и меры по противодействию развития технологий в Китае.
Наноиндустрия #6/2011
В.Надоленко
Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве
В процессах микроэлектронного производства часто используются различные газы и соединения. Большая часть этих веществ агрессивна и токсична, поэтому просто выбрасывать их в атмосферу после отработки нельзя. Вопрос очистки использованного в производстве воздуха выливается в серьезную инженерную задачу, требующую специфических решений и оборудования.