Электроника НТБ #5/2025
М. Белых, Д. Пермяков, А. Строгонов
ТОНКИЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫЕ ПЛЕНКИ ДЛЯ ГИБКИХ И РАСТЯГИВАЮЩИХСЯ ЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ
DOI: 10.22184/1992-4178.2025.246.5.90.102 В статье обсуждаются методы синтеза металлооксидных пленок и сенсоров на их основе на гибких и растягивающихся полимерных подложках. Показаны их преимущества и недостатки, области применения и перспективы внедрения.