В статье рассмотрены преимущества и перспективы использования тонкопленочных полевых транзисторов со встроенным каналом, изготовленных по технологии кремний-на-изоляторе (КнИ), в качестве чувствительных элементов датчиков Холла и других типов датчиков.

УДК 621.3.049.772.1.12
ВАК 05.27.00
DOI: 10.22184/1992-4178.2017.165.5.70.78

sitemap

Разработка: студия Green Art