DOI: 10.22184/1992-4178.2020.196.5.120.127

Рассматриваются некоторые аспекты развития технологий микро­электроники: ALD- и ХОПФ процессы, ионная имплантация, EUV литография, совершенствование методик тестирования.

sitemap

Разработка: студия Green Art