DOI: 10.22184/1992-4178.2022.220.9.114.118

Решить задачу раннего обнаружения дефекта позволяет межоперационный контроль на производстве, в том числе с применением метода зондового контроля на пластине. В статье представлен обзор российских технологий и методов зондового контроля кристаллов на пластине.