eng
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.60.66
В статье описана разработка технологии герметизации корпусов микроболометров. Герметизация производится в высоком вакууме с использованием геттера, чем обеспечивается сохранение заданного уровня вакуума внутри корпуса микромеханического прибора в течение срока хранения и эксплуатации.
Теги: вакуумная герметизация вакуумплотный корпус геттер микроболометры пайка с преформой подкорпусное давление
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
В статье описана разработка технологии герметизации корпусов микроболометров. Герметизация производится в высоком вакууме с использованием геттера, чем обеспечивается сохранение заданного уровня вакуума внутри корпуса микромеханического прибора в течение срока хранения и эксплуатации.
Теги: вакуумная герметизация вакуумплотный корпус геттер микроболометры пайка с преформой подкорпусное давление
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
