Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега - специальное технологическое оборудование

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2026
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178(print)
ISSN 1992-4186(online)

Книги по электронике

Тег "специальное технологическое оборудование"

Электроника НТБ #1/2026
А. Соболев
СОВРЕМЕННЫЕ КЛАСТЕРНЫЕ УСТАНОВКИ АЗИАТСКОГО ПРОИЗВОДСТВА ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИНАХ

DOI: 10.22184/1992-4178.2026.253.1.48.56 В статье представлен обзор различных типов кластерных установок, выпускаемых азиатскими производителями, для проведения операций с тонкими пленками на полупроводниковых пластинах. Рассмотрены ключевые параметры кластерного СТО, которые оказывают влияние на процессы травления, осаждения и напыления тонких пленок.

Электроника НТБ #6/2011
В.Берлин, В.Киреев, Д.Челапкин
Специальное технологическое оборудование для производства микросхем. Критерии эффективности и конкурентоспособности

Эффективность и конкурентоспособность специального технологического оборудования (СТО) для производства интегральных микросхем (ИМС) или других изделий микроэлектроники определяется совокупностью себестоимости (общих затрат) на единицу продукции операции, реализуемой на оборудовании. В свою очередь себестоимость операций, проводимых СТО, зависит как от характеристик установки и проводимой на ней операции, так и от задаваемых государством цен, налогов, пошлин. Так каковы составляющие себестоимости? Каковы возможности и особенности создания в России конкурентоспособного на мировом рынке СТО? Каковы критерии энергетической эффективности установок, систем и процессов? Попробуем дать отсветы на эти вопросы на примере СТО для реализации вакуумно-плазменных технологических процессов.