Наноиндустрия #9/2018
Баранов Александр Александрович, Жукова Светлана Александровна, Обижаев Денис Юрьевич, Турков Владимир Евгеньевич, Воробьев Алексей Д., Лагун Александр Михайлович, Машевич Павел Романович, Трудновская Евгения Андреевна
Миниатюрный двухосевой микромеханический акселерометр в однокристальном исполнении с диапазоном измеряемых ускорений ±10 м/с2 В настоящем докладе рассмотрены особенности конструкции и технологии изготовления, а также основные характеристики двухосевого микромеханического акселерометра в однокристальном исполнении. Показана возможность герметизации чувствительного элемента на этапе формирования при помощи кремниевой капсулы. УДК 53.087.92 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.512.513 Наноиндустрия #9/2018
Баранов Александр Александрович, Жукова Светлана Александровна, Обижаев Денис Юрьевич, Турков Владимир Евгеньевич
Катушка индуктивности, изготовленная по МЭМС-технологии В настоящем докладе рассмотрены особенности формирования трехмерной катушки индуктивности с ферромагнитным сердечником по технологии МЭМС, имеющей высокое аспектное соотношение столбчатых выводов, а также представлены результаты исследования ее основных характеристик. УДК 621.391:004 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.511 Наноиндустрия #9/2018
Баранов Юрий Николаевич, Шварц Карл-Генрих Маркусович, Соколов Евгений Макарович, Стаценко Владимир Николаевич, Федотов Сергей Дмитриевич, Тарасов Дмитрий Владимирович, Тимошенков Сергей Петрович
Газотранспортный хлоридный перенос кремния в сэндвич-системе В данной работе представлены результаты разработки и исследования процесса формирования эпитаксиальных слоев кремния, полученных с помощью хлоридного газотранспортного переноса в сэндвич-системе. Изучено формирование моно- и поликристаллических слоев на различных кремниевых подложках, а также на структурах типа «кремний с диэлектрической изоляцией» (КСДИ, EPIC). Исследованы распределения температуры в сэндвич-системе и толщины эпитаксиального слоя по площади подложки. Изучены зависимости скорости роста слоя от температуры пластины-источника и подложки, соотношения Cl/H и величины зазора между пластинами в сэндвич-системе. Скорость роста поликристаллических слоев на КСДИ достигает 12 мкм/мин при толщине слоев 300–600 мкм, монокристаллических слоев Si на кремниевых подложка 8–10 мкм/мин при толщине слоев 40–100 мкм. Наиболее значимой особенностью процесса хлоридного газотранспортного переноса кремния с практической точки зрения является то, что при формировании эпитаксиальных слоев в качестве источника кремния можно использовать отбракованные пластины и структуры, прошедшие различные циклы эпитаксиального производства. Механизм переноса позволяет формировать эпитаксиальные монокристаллические слои и поликристаллические опорные слои со скоростью роста более 10 мкм/мин вне зависимости от качества пластины —источника Si, что значительно снижает себестоимость процесса изготовления. УДК 546.05:548.55:54628.121:660.94.49/(Ж/О)35.20 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.273.280 Наноиндустрия #2/2018
Д.Вюнш, Л.Пурвин, Р.Мартинка, И.Шуберт, Р.Юнганс, М.Баум, М.Вимер, Т.Отто
Временное сращивание пластин – ключевая технология для МЭМС-устройств Утонение после временного сращивания пластин – ключевая технология 3D-интеграции датчиков и электронных компонентов для получения миниатюрных систем. Обработка ультратонких кремниевых пластин является сложным процессом, поэтому были разработаны различные технологии их временного сращивания с носителем для стабилизации и защиты пластин во время производственных операций. УДК 621.382.2 /.3; ВАК 05.27.06; DOI: 10.22184/1993-8578.2018.81.2.144.154 Наноиндустрия #6/2016
Э.Бернар-Мулен, А.Уваров, Э.Дезре
Глубокое травление твердых материалов Рассматриваются области применения твердых материалов в полупроводниковой промышленности, а также оборудование и процессы для их плазменного травления. DOI:10.22184/1993-8578.2016.68.6.106.111 Электроника НТБ #3/2016
Б.Александров
Инерциальные датчики: терминология, характеристики, критерии выбора В статье рассмотрена наиболее устоявшаяся терминология, основные характеристики и критерии выбора современных инерциальных датчиков на примере гироскопов. Наноиндустрия #5/2015
В.Вернер, Е.Кузнецов, А.Сауров
Закону Мура 50 лет: развитие микронаноэлектроники Рассматривается влияние закона Мура на развитие микро- и наноэлектроники и его воздействие на изменения в структуре отрасли. Отмечается, что закон Мура определил высокие темпы роста микроэлектроники, что в свою очередь способствовало появлению и развитию новых направлений, например, микросистемной техники в форме МЭМС, а затем и наноэлектроники. DOI:10.22184/1993-8578.2015.59.5.56.72 Наноиндустрия #4/2015
Г.Киселев, П.Горелкин, А.Ерофеев, Д.Колесов, И.Яминский
Детекция вирусов с помощью пьезоэлектрических кантилеверов Быстрый прямой анализ вируса гриппа А в жидкой среде может выполняться с помощью пьезоэлектрического кантилевера с рецептором, модифицированным гликополимером, который содержит сиаловые группы, специфичные к белку оболочки вируса. DOI:10.22184/1993-8578.2015.58.4.62.67 Электроника НТБ #2/2014
А.Бекмачев
Инерциальные МЭМС-датчики и модули европейских производителей. Обзор новинок Обзор посвящен новым акселерометрам, гироскопам и инерциальным измерительным модулям, которые применяются для стабилизации и управления подвижными объектами, а также в пилотажном и навигационном оборудовании. Электроника НТБ #1/2014
Н.Демкович
Программный комплекс OOFELIE::Multiphysics – эффективный инструмент проектирования сложных систем Компания СП ЗАО "Би Питрон" – один из лидеров на рынке внедрения и технической поддержки систем автоматизированного проектирования – предлагает своим клиентам уникальный по возможностям программный комплекс OOFELIE::Multiphysics, ориентированный на решение сложных междисциплинарных задач при создании изделий для различных отраслей промышленности.