Электроника НТБ #6/2025
В. Плебанович, В. Светенкова, В. Гришкевич
ФОТОННАЯ ЭМИССИЯ – ИННОВАЦИОННЫЙ МЕТОД АНАЛИЗА ДЕФЕКТОВ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
DOI: 10.22184/1992-4178.2025.247.6.150.152 Аналитический комплекс «Фотон», разработанный совместно ОАО «Оптоэлектронные системы» и НТЦ «Белмикросистемы», решает проблему выявления скрытых дефектов ИС, таких как структурные дефекты кристаллической решетки, локальные утечки тока и перегрев силовых элементов.